优尼康科技提供的HERZ系列主动减震台，专为半导体产线晶圆检测设备、电子显微镜等高精密仪器配套设计。该主动减震台采用先进的主动隔振技术，通过控制器内的压电加速传感器将外界振动压力信号转换为电信号，发送至隔离模块中的压电换能器，产生一个与传入压力大小相等、方向相反的压力信号来消除传入振动。该主动减震台利用内部反馈回路消除系统机械共振，实现六个空间方向的自由隔振。
优尼康AVI-600系列主动减震台是纳米技术大型仪器的隔振解决方案。该主动减震台通过增加隔振模块数量可扩展承重能力，最大承重可达9000磅。该主动减震台主动隔振频率1-200Hz，被动隔振频率>200Hz，5-20ms响应时间。该主动减震台传输率超过10Hz<0.017（-35dB），模块尺寸W11.3"×D28.4"×H4.5"，模块重量60kg。该主动减震台控制器带数字LED显示屏，实时监控隔振状态。
优尼康TS系列主动减震台为桌面一体型设计，主要为轮廓仪、显微镜等小型设备提供减震。该主动减震台在0.7-100Hz范围提供六自由度三轴主动隔震。该主动减震台具备自动高度调节与水平自动调节功能，即使负重重心偏离中心也可自动调平。系统锁止功能在搬运或运输途中保护该主动减震台免受意外损害。LCD显示面板实时显示X、Y、Z三个方向的振动状态。
优尼康UT-1000A平台是AVI模块定制集成后的产品，专为电子显微镜和类似大型研究仪器提供业界领先的主动隔振性能（从0.5Hz开始）。该主动减震台采用超薄型与模块化设计，安装时无需专用起重设备。该主动减震台支持扫描电子显微镜（SEM）和透射电子显微镜（TEM），获得了业界一致认可。重达3500公斤的Titan TEM可由四个该主动减震台模块支撑。该主动减震台安装后基本不改变显微镜的整体轮廓，为每台电镜做单一定制。
在半导体制造产线中，晶圆检测设备对环境振动极为敏感。优尼康主动减震台广泛应用于SEM、TEM、超高真空扫描探针显微镜（UHV-SPM）、光刻设备、高精度计量设备及光谱测量设备。该主动减震台通过主动检测输入振动并动态消除，提供优秀的低频段隔振能力，有效保障晶圆检测的精度与重复性。该主动减震台无低频共振、无空气要求，适用于各类对振动敏感的精密仪器。
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