薄膜厚度测量仪F20桌面式通用型,USB连接电脑数秒出测量结果

2026-07-29 11:52:30 优尼康-MKT

薄膜厚度测量仪F20是一款通用型多功能单点测试膜厚仪,作为桌面式薄膜厚度测量的代表性产品,其安装便捷性在同类设备中尤为突出。该薄膜厚度测量仪通过USB连接电脑,仅需几分钟即可完成机台设置,配置完成后数秒内即可获得测量结果。优尼康科技有限公司作为KLA旗下Filmetrics光反射膜厚仪的中国区总代理,专注于精密薄膜测量领域,将这款高性能薄膜厚度测量仪引入中国市场,服务于半导体制造、先进封装、新材料研发、新型显示技术、生物医学及新能源等多个前沿行业。


一、薄膜厚度测量仪F20的核心测量原理


薄膜厚度测量仪F20采用光反射干涉技术实现厚度测量。当入射光穿透不同物质的界面时,部分光被反射,由于光的波动性导致从多个界面的反射光彼此干涉,从而使反射光的多波长光谱产生震荡现象。薄膜厚度测量仪通过分析光谱的震荡频率判断不同界面的距离,进而得出薄膜的厚度——光谱震荡越多代表厚度越大。与此同时,该薄膜厚度测量仪还能同步获取材料的折射率与粗糙度等光学常数。


薄膜厚度测量仪


二、薄膜厚度测量仪F20的技术参数与测量能力


薄膜厚度测量仪F20的波长范围为380nm至1050nm,采用卤素灯光源。不同型号的薄膜厚度测量仪覆盖不同厚度范围:F20基础型号测量范围为15nm至70μm,F20-UV扩展至1nm至40μm,F20-XT则可测0.2μm至450μm的膜层。该薄膜厚度测量仪的测量精度高达0.02nm,准确度最高为1nm或测量厚度的0.2%,稳定性最低为0.05nm。光斑大小为1.5mm,最小可至20μm,样品直径支持1mm至300mm或更大尺寸。

薄膜厚度测量仪F20适配平面及弯曲表面样品,支持单层膜与多层膜结构测量。该薄膜厚度测量仪可测量的薄膜种类极为广泛,包括SiNx、TiO2、ITO、光刻胶等多种光滑、半透明或低吸收系数薄膜。应用场景覆盖半导体薄膜测量、光学镀膜检测、液晶显示面板厚度评估、玻璃厚度测量及生物医学涂层分析等领域。


三、薄膜厚度测量仪F20的软件支持与配件体系


薄膜厚度测量仪F20搭载FILMeasure分析软件,内置数千种材料数据库,支持权限设置与历史数据管理功能。优尼康为使用该薄膜厚度测量仪的客户提供24小时电话、邮件及在线技术支持,设备配备嵌入式在线诊断功能与免费离线分析软件。薄膜厚度测量仪F20可选配XY10自动样品台、CP-1接触式探头、样品摄像头、SS-Trans-curved透射率测量配件、MA-CMOUNT-F20KT显微镜连接配件及CS-1测量平台等多种配件。该薄膜厚度测量仪电源适配100-240VAC(50-60Hz,0.3-0.1A),接口为USB2.0,支持Windows 10及以上(64位)以及Mac OS X Lion及以上(需Parallels),通过CE EMC和欧洲安全指令认证。


四、优尼康的专业服务保障薄膜厚度测量仪应用效果


优尼康围绕薄膜厚度测量仪建立了完善的服务体系。公司提供新用户免费测样服务,让客户在采购前验证薄膜厚度测量仪的适配性,有效降低采购风险。优尼康配备行业经验丰富的高级工程师,提供一对一沟通与定制化解决方案服务。7×24小时在线服务配合8小时快速售后响应机制,确保客户在使用薄膜厚度测量仪过程中获得及时技术支持。优尼康总部位于上海浦东张江高科,在东莞、天津、成都、苏州等地设有分支机构。公司合作客户涵盖三星、华为、台积电、长电科技等全球知名企业。作为国家高新技术企业与专精特新企业,优尼康在薄膜厚度测量仪领域积累了深厚的技术实力与行业经验。


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