薄膜厚度测量仪F20是一款通用型多功能单点测试膜厚仪,作为桌面式薄膜厚度测量的代表性产品,其安装便捷性在同类设备中尤为突出。该薄膜厚度测量仪通过USB连接电脑,仅需几分钟即可完成机台设置,配置完成后数秒内即可获得测量结果。优尼康科技有限公司作为KLA旗下Filmetrics光反射膜厚仪的中国区总代理,专注于精密薄膜测量领域,将这款高性能薄膜厚度测量仪引入中国市场,服务于半导体制造、先进封装、新材料研发、新型显示技术、生物医学及新能源等多个前沿行业。
薄膜厚度测量仪F20采用光反射干涉技术实现厚度测量。当入射光穿透不同物质的界面时,部分光被反射,由于光的波动性导致从多个界面的反射光彼此干涉,从而使反射光的多波长光谱产生震荡现象。薄膜厚度测量仪通过分析光谱的震荡频率判断不同界面的距离,进而得出薄膜的厚度——光谱震荡越多代表厚度越大。与此同时,该薄膜厚度测量仪还能同步获取材料的折射率与粗糙度等光学常数。

薄膜厚度测量仪F20适配平面及弯曲表面样品,支持单层膜与多层膜结构测量。该薄膜厚度测量仪可测量的薄膜种类极为广泛,包括SiNx、TiO2、ITO、光刻胶等多种光滑、半透明或低吸收系数薄膜。应用场景覆盖半导体薄膜测量、光学镀膜检测、液晶显示面板厚度评估、玻璃厚度测量及生物医学涂层分析等领域。
薄膜厚度测量仪F20搭载FILMeasure分析软件,内置数千种材料数据库,支持权限设置与历史数据管理功能。优尼康为使用该薄膜厚度测量仪的客户提供24小时电话、邮件及在线技术支持,设备配备嵌入式在线诊断功能与免费离线分析软件。薄膜厚度测量仪F20可选配XY10自动样品台、CP-1接触式探头、样品摄像头、SS-Trans-curved透射率测量配件、MA-CMOUNT-F20KT显微镜连接配件及CS-1测量平台等多种配件。该薄膜厚度测量仪电源适配100-240VAC(50-60Hz,0.3-0.1A),接口为USB2.0,支持Windows 10及以上(64位)以及Mac OS X Lion及以上(需Parallels),通过CE EMC和欧洲安全指令认证。