主动式减震台TS系列是一款桌面一体型主动隔振系统，专为轮廓仪、显微镜等高灵敏度精密仪器设计。该主动式减震台采用先进的隔振技术，可隔离6个空间方向的振动，包括水平方向和竖直方向。优尼康科技有限公司作为HERZ主动式减震台在中国市场的专业代理商，将TS系列主动式减震台引入国内，服务于半导体、材料科学、生物医学等领域的精密测量需求。主动式减震台TS系列利用控制器内的压电加速传感器将外界振动的压力信号转换为电信号，发送至隔离模块中的压电换能器，随后压电换能器产生一个与传入压力大小相等、方向相反的压力信号来消除传入振动。该主动式减震台通过反馈回路消除系统的机械共振。
主动式减震台TS系列的核心技术在于其主动隔振机制。该主动式减震台可消除震动振幅在20μm内的垂直方向和两个水平方向的振动。主动式减震台TS系列的主动隔振频率范围为0.7Hz至100Hz，在6个自由度中提供XYZ三轴的主动隔振。当外界振动传入时，主动式减震台内部的压电加速传感器即时检测振动信号，控制器将压力信号转换为电信号发送至压电换能器。该主动式减震台产生的反向压力信号与传入振动大小相等、方向相反，实现振动的实时抵消。主动式减震台TS系列配备LCD显示面板，可实时显示来自XYZ方向的振动状态。
主动式减震台TS系列具备多项实用功能。该主动式减震台支持自动高度调节，让仪器摆放更加灵活。主动式减震台具备水平自动调节功能，即使负载重心偏离中心，也能自动调整至平衡状态。主动式减震台TS系列配备系统锁止功能，只需在控制面板轻按即可实现，在搬运或运输途中保护系统免受意外损害。该主动式减震台的安装极为简便，打开电源开关后自动完成高度调节与隔振功能开启，全过程无需手动调节。主动式减震台TS系列提供多种顶板支持，可根据不同研究及应用需求进行配置。
主动式减震台TS系列适用于多种精密测量场景。该主动式减震台广泛应用于扫描电子显微镜（SEM）、原子力显微镜（AFM）等高精度显微设备。主动式减震台TS系列同样适用于三轴轮廓仪、表面轮廓仪等形貌测量设备。在光学测量领域，该主动式减震台为白光干涉仪、激光干涉仪等设备提供稳定的测量环境。主动式减震台TS系列还应用于显微硬度测量仪、液体表面张力测量仪及医疗检测设备等场景。在纳米技术研究领域，主动式减震台的作用尤为关键——振动、噪音等环境因素会对原子级测量带来显著干扰，主动式减震台在低频范围的隔振性能远超传统被动式空气减震平台。
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