光学测厚仪选优尼康科技,这一选择的背后是Filmetrics光反射膜厚仪中国区总代理的专业资质与技术实力。优尼康科技有限公司自2012年成立于中国香港,从成立伊始便专注于精密薄膜测量领域。作为KLA旗下Filmetrics光学测厚仪的中国区总代理,优尼康科技所提供的产品精度可达0.02nm,测量范围覆盖1nm至3mm。光学测厚仪采用光反射干涉原理,通过分析薄膜上下表面反射光的干涉光谱,精确计算薄膜厚度、折射率、反射率等关键参数。优尼康科技光学测厚仪的非接触式测量特性,使其成为光刻胶、ITO导电膜、派瑞林涂层等脆弱或敏感材料测量的理想选择。
在技术参数层面,优尼康科技的光学测厚仪F20系列光源为卤素灯,波长范围为380-1050nm。不同型号的光学测厚仪覆盖不同的厚度区间:F20-UV型号光学测厚仪厚度测量范围为1nm-40μm,准确度为1nm或测量厚度的0.2%中取大值;F20-XT型号光学测厚仪可扩展至0.2μm-450μm;常规F20型号光学测厚仪测量范围为15nm-70μm。全系列光学测厚仪的测量精度最低为0.02nm,稳定性最低为0.05nm。光学测厚仪标准配置下光斑大小为1.5mm,通过选配小光斑组件最小可缩至20μm,样品台适配1mm至300mm的样品。

优尼康科技的光学测厚仪应用覆盖半导体制造、先进封装、新材料研发、新型显示技术、生物医学及新能源等多个前沿行业。在半导体领域,光学测厚仪可测量SiNx、TiO₂、光刻胶等多种薄膜。在显示技术领域,光学测厚仪适用于OLED、ITO和TCOs等透明导电薄膜的厚度表征。在消费电子领域,光学测厚仪可用于铝制外壳阳极膜、防水涂层等厚度检测。在光伏领域,光学测厚仪可测量太阳能电池相关膜层。在生物医学领域,光学测厚仪适用于医疗器械表面涂层的无损测量。光学测厚仪可测量的薄膜特性包括厚度、反射率、透射率、光学常数、均匀性、刻蚀量等。光学测厚仪支持的薄膜种类覆盖透明及半透明薄膜,常见如氧化物、聚合物甚至空气薄膜。光学测厚仪支持的薄膜状态涵盖固态、液态和气态。光学测厚仪支持的薄膜结构包括单层膜和多层膜、平面和曲面。