薄膜厚度仪F20是一款桌面式通用型单点光学膜厚测量设备,其最为突出的特点是安装便捷——通过USB连接电脑,仅需几分钟即可完成部署,配置完成后数秒内即可获得测量结果。优尼康科技有限公司作为Filmetrics光反射膜厚仪中国区总代理,将这款高性能薄膜厚度仪F20引入中国市场。该薄膜厚度仪自推出以来累计发货数千台,曾获Photonics Spectra“Circle of Excellence”大奖,被评为全球25大技术创新型光电产品之一。薄膜厚度仪F20适用于半导体膜厚测量、显示技术、光学镀层和生物医疗等领域。
在技术指标层面,薄膜厚度仪F20的厚度测量范围覆盖1nm至3mm。该薄膜厚度仪的测量精度达0.02nm。薄膜厚度仪F20的单次测量时间小于1秒。该薄膜厚度仪内置500余种材料数据库。薄膜厚度仪F20的光斑大小可在1.5mm至20μm之间调节。不同型号的薄膜厚度仪覆盖不同的厚度区间:F20-UV型号薄膜厚度仪测量范围为1nm-40μm,准确度为1nm或测量厚度的0.2%中取大值;F20-XT型号薄膜厚度仪可扩展至0.2μm-450μm。该薄膜厚度仪适配平面及弯曲表面,支持1mm至300mm的样品。

薄膜厚度仪F20的典型工业应用覆盖多个行业。在半导体制造领域,该薄膜厚度仪用于光刻胶、介电层(SiO₂/SiNx)、砷化镓、SOI、离子注入层的厚度测量。在显示技术领域,薄膜厚度仪F20用于OLED有机层、ITO/TCO、空气盒厚、液晶间隙的检测。在消费电子领域,该薄膜厚度仪用于防水涂层、射频识别、磁性材料、电子产品电路板涂层的测量。在光学镀层领域,薄膜厚度仪F20用于增透膜、硬涂层、PVD/CVD薄膜的检测。在太阳能电池领域,该薄膜厚度仪用于抗反射膜、透明电极、TOPCon工艺薄膜的测量。在生物医疗领域,薄膜厚度仪F20用于医疗器械涂层、派瑞林、药物释放涂层的检测。