F20膜厚仪支持单层多层膜分析,平面及弯曲表面均可测量

2026-08-16 19:45:05 优尼康-MKT

F20膜厚仪支持单层膜与多层膜结构的分析测量,无论是平面样品还是弯曲表面,均可实现精准检测。优尼康科技有限公司作为Filmetrics光反射膜厚仪中国区总代理,将这款高性能F20膜厚仪引入中国市场。F20膜厚仪采用光谱反射法,通过分析薄膜上下表面反射光的干涉光谱,精确计算薄膜厚度、折射率、反射率等关键参数。F20膜厚仪的厚度测量范围覆盖1nm至3mm,测量精度达0.02nm。F20膜厚仪的非接触式测量特性,使其在光刻胶、ITO导电膜、派瑞林涂层等材料的测量中具有独特优势。


一、F20膜厚仪的单层与多层膜分析能力


F20膜厚仪在膜层结构分析方面具备强大的适配能力。该F20膜厚仪可测量的薄膜结构包括单层膜和多层膜。无论是简单的单层氧化硅薄膜,还是复杂的多层光学镀膜结构,F20膜厚仪均能通过光谱反射法实现精准的厚度与光学常数分析。F20膜厚仪内置500余种材料数据库,支持多层膜建模与用户自定义色散。该F20膜厚仪搭载的FILMeasure软件内置数千种材料数据库,支持单层/多层膜分析。在实际应用中,F20膜厚仪可同时测量多层膜结构中每一层的厚度与光学常数,为半导体制造中的介电层堆叠、光学镀膜中的多层膜系设计等场景提供关键数据支撑。

F20膜厚仪可测量的薄膜特性包括厚度、反射率、透射率、光学常数、均匀性、刻蚀量等。该F20膜厚仪可测量的薄膜种类覆盖透明及半透明薄膜,常见如氧化物、聚合物甚至空气薄膜。F20膜厚仪可测量的薄膜状态涵盖固态、液态和气态。


二、F20膜厚仪的平面与弯曲表面测量能力


F20膜厚仪在样品表面形态的适配性上同样表现出色。该F20膜厚仪支持平面样品与曲面样品的测量。无论是平整的晶圆表面,还是具有一定曲率的光学透镜、医疗器械等异形样品,F20膜厚仪均能通过光反射干涉原理实现精准的薄膜厚度测量。

F20膜厚仪标准配置下光斑大小为1.5mm,通过选配小光斑组件最小可缩至20μm。这一灵活的光斑调节能力,使F20膜厚仪在测量微小区域或曲面局部区域时具备更高精度。F20膜厚仪的样品台适配1mm至300mm的样品。无论是小尺寸的研发样品还是大尺寸的产线产品,F20膜厚仪均能提供稳定的测量支持。该F20膜厚仪还支持多种波长范围配置(UV/NIR/EXR),可根据不同薄膜材料的光学特性选择最优测量方案。


F20膜厚仪


三、F20膜厚仪的应用场景与技术支持


F20膜厚仪的应用覆盖半导体制造、先进封装、新材料研发、新型显示技术、生物医学及新能源等多个前沿行业。在半导体领域,F20膜厚仪可测量SiNx、TiO₂、光刻胶等多种薄膜。在显示技术领域,F20膜厚仪适用于OLED、ITO和TCOs等透明导电薄膜的厚度表征。在消费电子领域,F20膜厚仪可用于铝制外壳阳极膜、防水涂层等厚度检测。在光伏领域,F20膜厚仪可测量太阳能电池相关膜层。在生物医学领域,F20膜厚仪适用于医疗器械表面涂层的无损测量。
优尼康科技围绕F20膜厚仪建立了完善的技术服务体系。公司总部位于上海浦东张江,并在东莞、天津、成都、苏州等地设有分支机构。F20膜厚仪搭载FILMeasure软件,提供权限设置与历史数据追溯功能。优尼康科技为所有F20膜厚仪用户提供24小时电话、邮件、在线技术支持。F20膜厚仪可选配XY10自动样品台、CP-1接触式探头、样品摄像头、透射率测量配件、显微镜连接配件及测量平台等。F20膜厚仪支持Windows 10及以上(64位)操作系统。作为国家高新技术企业与专精特新企业,优尼康科技在F20膜厚仪领域持续为国内客户提供专业的技术支持。


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