现代半导体、光通信器件的研发与检测工作，对实验环境的稳定性提出了严苛的标准。不少科研机构与企业研发中心选址在高层楼宇之内，马路车流、大楼电梯运行、周边生产设备运转，都会持续产生各类低频与高频振动。这类不易察觉的振动传导至仪器工作台之后，会直接造成检测数据漂移、图像模糊、重复性变差等一系列问题。设备减震台作为精密实验室重要配套硬件，可以有效化解复杂环境下的振动难题，优尼康面向半导体、新材料以及医疗器件检测场景，提供整套隔振解决方案，协助用户消除环境振动带来的负面影响。
很多使用者容易忽略实验室内部的振动来源，振动干扰并不只是来自室外车辆通行，楼宇内部同样存在大量振源。高层实验室当中，电梯启停、中央空调机组运转、人员走动，都能够通过楼板形成微弱振动传导。 对于椭偏仪、光学轮廓仪、扫描电镜这类纳米级精度的检测设备而言，即使振幅仅处于纳米级别，也足以对测试结果形成干扰。在开展薄膜铌酸锂、磷化铟晶圆样品检测作业的时候，振动会造成晶圆Mapping扫描偏移，样品表面粗糙度、薄膜厚度的测试数值出现较大波动。反复出现的数据偏差，会延长样品调试周期，部分研发实验甚至需要重复多次复测，直接拖慢整体项目进度。 在以往很多实验室改造项目当中，单纯依靠加厚水泥基座、增加仪器自重的方式，并不能完全消除低频振动。这时就需要借助专业隔振硬件，也就是设备减震台，针对不同频率段的振动进行抑制处理。
从隔振技术路线来看，隔振可以分为被动隔振以及主动隔振两大类别。普通被动隔振台依靠弹簧以及阻尼橡胶实现振动削弱，针对高频振动抑制尚可，但是面对低频振动时隔振效果有限。 设备减震台当中的主动隔振产品内置振动传感器与反馈控制系统。传感器不间断实时采集台面的振动信号，控制系统快速运算之后驱动执行机构生成反向补偿力，以此抵消已经传导过来的振动。整套闭环反馈机制，可以同时处理来自地面向上传导的振动，也可以弱化仪器台面之上由设备自身电机产生的扰动。 优尼康所配套的隔振硬件方案，适配纳米级精密量测设备，能够适配高层厂房以及临街实验室等复杂工况，解决不少用户改造阶段遇到的隔振难题。
实验室在选购设备减震台的时候，不能简单参考仪器尺寸完成选型，应当优先结合仪器类型、安装楼层、现场振源情况综合评估。 针对扫描电镜、原子力显微镜，仪器本身对于微弱振动极其敏感，优先选择主动式隔振方案；光学轮廓仪、光谱椭偏仪多用于晶圆薄膜厚度、表面粗糙度检测，在开展大面积自动Mapping扫描工作时，持续扫描过程当中一旦出现振动干扰，整张晶圆的扫描数据就会失效。选型阶段需要评估单台设备的重量，预留足够的承重余量，防止台面过载影响设备减震台长期隔振性能。
不少用户直接采购隔振设备之后，发现实际使用效果达不到预期，究其原因，是前期缺少现场振动环境评估。不同楼宇楼板的固有振动频率存在差异，临街建筑、高层厂房、底层车间，振动频谱各不相同。 正式采购安装设备减震台之前，可以针对现场环境开展振动测试，识别主要干扰振动的频率区间。基于实测的数据再去确定隔振台的型号、承重规格，才能够让整套隔振系统发挥最优效果。优尼康在仪器配套服务过程当中，会结合客户待测样品类型、实验室现场条件给出针对性建议，帮助科研人员营造稳定可靠的实验检测环境。
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