在半导体研发、材料表征以及各类纳米级检测实验室中，环境振动是影响仪器测试数据、成像效果的关键干扰源，楼层人流、设备运转、道路传导过来的微振动，都有可能造成测量结果偏差。HERZ减震台凭借压电反馈式主动隔振技术，能够有效抵消多维度外界振动，AVI/TS两大系列模块化隔振台，可匹配不同规格的精密测量仪器，优尼康可面向科研机构与工业实验室提供完整的隔振方案选型、评估与技术落地服务。
一、HERZ减震台AVI/TS系列产品定位与结构差异
HERZ减震台分为AVI模块化底座系列以及TS桌面一体型两大产品线，二者针对不同仪器负载、安装条件做了差异化设计，在实际项目中需要结合设备类型、重量、现场空间进行区分选型。
AVI系列属于模块化底座式隔振系统，包含AVI‑200、AVI‑400、AVI‑600等型号，主打大负载设备应用场景，扫描电镜、透射电镜、大型光刻相关计量设备大多选用AVI系列。该系列采用模块化堆叠拓展思路，可通过增加隔振模块数量提升整体承重，最高可支持至9000磅，能够满足大型重型精密仪器的隔振需求。
TS系列为桌面一体化防震台，更偏向中小型精密仪器，像白光轮廓仪、原子力显微镜AFM、小型干涉测量设备都非常适配。TS系列集成自动高度调节、负载重心偏移补偿、系统锁止保护、XYZ三轴震动实时LCD显示多项功能，仪器摆放重心发生偏移时，设备可以自动完成水平回正，设备转运过程中开启锁止功能，能够保护内部传感组件不受外力损伤。
二、HERZ减震台核心技术参数与隔振工作原理
HERZ减震台依托压电传感器与压电换能器件完成主动消振，系统内部压电加速度传感器实时采集来自竖直、水平共计六个自由度的振动信号，控制器将振动信号转换之后，驱动压电换能器输出反向作用力，以此抵消外界传入的振动干扰，内部反馈回路可以抑制机械共振现象，设备运行无需气源供气，不存在低频共振缺陷。
从性能指标来看，AVI系列主动隔振覆盖1‑200Hz频段，高于200Hz依靠被动模式完成隔振，振动响应时间控制在5‑20ms；系统噪声低于50nG/√Hz，AVI‑200常规功耗仅9W，AVI‑600标准配置功耗27W，设备运行功耗低，长时间连续工作不会出现机身升温，不会对周边测试设备带来电磁干扰。TS系列主动隔振工作区间0.7‑100Hz，实现三轴六自由度主动减振，可处理振幅20μm以内的外界振动干扰。
三、不同场景下HERZ减震台仪器适配方案
很多实验室会遇到楼层较高、临近交通道路、厂区设备联动带来持续振动，被动隔振台很难消除低频振动，就需要HERZ减震台介入改善测量环境。 AVI模块化系列多用于SEM、TEM、UHV‑SPM超高真空扫描探针显微镜、大型干涉仪等高负载设备。其中衍生的UT‑1000A集成平台，延续AVI模块核心架构，最低隔振起始频率可达0.5Hz，采用超薄模块化结构，无需大型吊装工具，一小时内可完成现场部署，适合电镜设备改造升级项目。
TS桌面一体型隔振台适配白光干涉轮廓仪、摩擦学测试设备、小型扫描探针仪器，放置于实验台之上即可使用，安装调试门槛低，高校实验室、企业研发部门的中小型精密测量设备广泛选用该系列。优尼康会根据客户现场振动勘测结果，给出型号、模块数量、配套阻尼支架的组合建议，避免选型不当造成隔振效果不达预期。
四、HERZ减震台使用与部署注意事项
即便隔振硬件性能优异，安装基础条件同样会最终影响减振表现。TS桌面型HERZ减震台，如果摆放的承载平台刚性不足，会衰减减振效果，必要情况下可以搭配高阻尼稳定支架，进一步放大隔振性能。AVI模块化系统，要根据仪器实际总重量配置对应数量隔振模块，严禁超负载运行。整套设备支持长年不间断稳定运行，日常维护工作量较低，降低实验室运维压力。 综合来看，面对日益严苛的纳米尺度检测需求，HERZ减震台AVI/TS系列模块化隔振台，从桌面小型仪器到吨级大型电镜设备都能够提供可靠的振动抑制能力。实验室在采购精密测量仪器的同时，同步规划振动隔离方案，才可以完整释放设备本身的测量性能，优尼康可协助完成前期现场工况评估，帮助用户选择适配自身设备的HERZ减震台。
