美国诺贝尔物理学奖得主Richard Feynman教授使用半导体材料将实验用的机械系统微型化，从而造就了世界上首个微型电子机械系统（Micro-electro-mechanical Systems，MEMS），这成为了未来微流控技术问世的基石。

瑞士Ciba-Geigy公司的Manz与Widmer应用MEMS技术在一块微型芯片上实现了此前一直需要在毛细管内才能完成的电泳分离，首次提出了微全分析系统（Micro-Total Analytical System，ì-TAS）即我们现在熟知的微流控芯片。

世界首届国际微全分析系统学术会议在荷兰Enschede举行，微流控芯片全面进入大众视野。

全球首家专门从事微流控芯片技术的公司—Caliper Life Sciences在美国马萨诸塞州成立。

世界首台微流控芯片商品化仪器-毛细管电泳微芯片由安捷伦公司和Galiper公司联合推出，被应用于生物分析和临床分析领域。

微流控芯片系统涉及领域极其广泛，包括疾病检测、生化分析、蛋白质检测、药物筛选、毒品检测、商品检验、环境监测、刑事科学、军事科学及航天科学等，覆盖人们生活的方方面面。