精彩问答
Brilliant Q&A
导语
Introduction
在刚刚落幕的线上研讨会中，我们收获了远超预期的热烈互动。会议期间的精准提问与深度交流，不仅体现了行业同仁对薄膜测量技术的高度关注，更真实反映了大家在日常研发与质控中面临的实际挑战。
为将这份宝贵的知识沉淀下来，我们特地整理了本次研讨会中最具代表性、最高频出现的核心问题，并附上KLA与优尼康科技技术专家的权威解答。您所关心的，正是我们所详述的。希望这份精心汇编的问答实录，能成为您手边一份常备的“技术解决方案”，持续为您的精准测量工作赋能。
提问
&
解答
Answers
为什么有光谱反射仪但是没有光谱椭偏仪测膜厚呢？另外四探针电阻测膜厚如果最上层是两层不同的金属，也可以用吗？
目前KLA椭偏仪解决方案还是提供到Fab客户的自动化产品，桌面式的椭偏仪还未加入KLA仪器部门。
四探针方阻仪测量膜厚的时候，如果是两层金属膜的话由于两层膜相互导通，所以测得的结果是两者导电性的一个加权平均。如果需要测量表面单个膜层，还是建议在膜层下方加入一个绝缘层避免混起来
和椭偏仪或其他膜厚测量技术相比，光反射膜厚仪的核心优势是什么？
膜厚仪测量前对样品有要求吗？比如表面脏污或者不是样品有一定的粗糙度。对结果影响大不大？
目前我知道椭偏膜厚量设备目前有在fab端是有应用的，请问光反射膜厚测量设备有在fab端应用吗？谢谢！
请问光反射膜厚测量设备最薄可以测到多少纳米呀？多层透明的膜能测吗？最多能测多少层？
刚有提到材料库，我们经常会测一些非标的或者新材料，数据库里没有参数怎么办？仪器软件支持我们自己建立和拟合模型吗？过程复不复杂？
展示的这些图片都是实际测量的案例吗？能不能提供测样服务？
是的，都是我司实际的案例。
当然可以，欢迎到我司实验室来共同学习；或者也可以把样品寄给我们，我们可以用样机来提供测量结果。
我们有个比较特殊的需求，需要测量一个弧面上的膜厚，咱们的设备有这种特殊测量模式或者配件吗？
弧面的表层膜层厚度的测量，是一个比较有挑战性的应用。具体要看弧面的曲率如何？打个比方，一般车灯行业的加硬层都是镀在不同的车灯表面，且车灯表面也有具有一定的弧度的，这种情况下用接触式探头就可以很好的解决信号收集的问题。只要能收集到足够的有效信号，就可以满足具体的弧面测量需求。同时F40的微区测量模式，也可以一定程度上解决弧面膜层的应用问题。
我们经常需要测同一批次的几十个样品来评估均匀性，你们的仪器有没有配备自动样品台？设置一个自动测量的流程复杂不？
如果需要测量同一批次的许多样品，来评估膜层均匀性，那么F50系列膜厚仪会是非常好的选择。单片样品的测量结果会直接显示出表面膜层的厚度显示示意图，最大值，最小值，TTV，U%等数据。
建立自动测量的配方并不是一个很复杂的过程，通常来说，我司工程师在应用支持过程中，会直接提供完善的测量配方。之后的测量只需要选择对应的配方，点击开始测量，就能得到包括均匀度在内的测量结果。
Si片外延多晶硅能测量吗？
是不是只Poly Si？当然可以，而且是非常常见的应用。在半导体前端的硅片制造工艺中，Poly Si测量是一种需求十分广泛的工艺节点。
能测量硅片是因为利用了红外光吗？
对的。硅片对于可见光（400~850nm）来说不透明的，但是对于红外光（850`1700nm）来说，又是透明的，也就是说红外光可以穿透表面硅膜层。
优尼康公众号
售后服务支持
