
SEMICON China 2026将于3月25日至27日在上海新国际博览中心盛大召开。覆盖设备、材料、设计、制造、封装测试、软件和服务等微电子、集成电路产业链各环节,致力于推动研发创新,促进产业持续发展。
优尼康展台N1馆1667 邀您观展,这一次我们把实验室搬到现场,您可以近距离接触高精度检测设备:KLA Filmetrics 光学膜厚仪、KLA 光学轮廓仪、探针式轮廓仪、椭偏仪、台阶仪等。如果您有以上设备的使用或者测样需求,欢迎莅临优尼康展台现场进行了解与测样。
扫描下方左侧二维码预约现场测样,展台准备了丰富的礼品,抽取爱马仕神秘礼盒、网红盲盒等,更多活动尽在优尼康展台N1馆1667,欢迎各位来现场交流!

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精密薄膜测量专家
优尼康科技有限公司 | 翌颖科技(上海)有限公司

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展会时间:
2026年3月25日 - 27日
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展会地点:
上海·新国际博览中心
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展位布局:
优尼康展台 N1馆 1667号
观众邀请函


现场超多惊喜礼品!

爱马仕神秘礼盒、网红盲盒、独角兽钥匙扣等超多惊喜!我们现场见!

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Filmetrics F20 单点便携式膜厚仪 | ||
无论您是想要知道薄膜厚度、光学常数,还是想要知道材料的反射率和透过率,F20都能满足您的需要。仅需花费几分钟完成安装,通过USB连接电脑,设备就可以在数秒内得到测量结果。基于某模块化设计的特点,F20适用于各种应用。 | ||
相关应用:光刻胶、工艺薄膜、介电材料、硬涂层、Parylene、抗反射层、医疗设备、OLED、玻璃厚度、ITO与其他TCO。 |

![]() Filmetrics F40 薄膜厚度测量仪 | ||
F40的光谱测量系统让用户简单快速地测量薄膜的厚度和光学常数,通过对待测膜层的上下界面间反射光谱的分析,几秒钟内就可测量结果。 | ||
相关应用:半导体制造(光刻胶、氧化物/氮化物/SOI、半导体膜层);生物医学元件(聚合物、聚对二甲苯);MEMS微机电系统(光刻胶、硅膜);LCD液晶显示器(盒厚、聚酰亚胺、ITO导电透明膜)。 |

![]() Filmetrics F50 自动Mapping膜厚仪 | ||
F50可以非常简单地获得最大直径450毫米的样品薄膜厚度分布图。采用r-θ 极坐标移动平台,可以快速定位所需的测试点并且实时获得测试厚度,大约每秒测试两点。 | ||
相关应用:半导体制造(光刻胶、氧化物/氮化物/SOI、晶圆背面研磨);LCD 液晶显示器(聚酰亚胺、ITO 透明导电膜);光学镀膜(硬涂层、抗反射层);MEMS 微机电系统(光刻胶、硅系膜层)。 |

![]() Filmetrics F54-XY-200自动光学膜厚测量仪 | ||
F54-XY-200膜厚仪可以测量尺寸达200 x 200mm样品的薄膜厚度电动XY工作台自动移动到选定的测量点并提供厚度测量,达到每秒两点。。 | ||
相关应用:半导体膜层(光刻胶、介电层、砷化镓、微机电系统);显示技术(OLED、ITO和TCOs、空气盒厚、PVD和CVD);消费电子(防水涂层、射频识别、太阳能电池、铝制外壳阳极膜);派瑞林(电子产品、电路板、磁性材料、医学器械、硅橡胶)。 |

![]() FS-RT300 多波长椭偏仪 | ||
Film Sense FS-RT300 多波长椭偏仪采用寿命长 LED 光源和非移动式部件椭偏探测器,可在操作简单的紧凑型椭偏仪中实现可靠地薄膜测量。 | ||
相关应用:二氧化硅和氮化物,高介电和低介电材料,非晶和多晶材料,硅薄膜,光刻胶。高和低指数薄膜,如 SiO2, TiO2, Ta2O5, MgF2。TCO(如 ITO),非晶硅薄膜,有机薄膜(OLED 技术)等。 |

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Profilm3D 白光干涉轮廓仪 | ||
Profilm3D 使用最先进的垂直干涉扫描 (WLI) 与高精度的相位干涉 (PSI) 技术。以强大的性价比实现次纳米级的表面形貌研究。 | ||
相关应用:粗糙度测量;三维形貌表征;台阶高度测量 |

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KLA P-7 探针式台阶仪 | ||
KLA P-7 探针式台阶仪是KLA公司的探针式台阶仪系统。可以对台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力进行2D和3D测量,其扫描可达150mm而无需图像拼接。 | ||
相关应用:薄膜/厚膜台阶、柔性薄膜、光阻/光刻胶台阶、蚀刻深度量测、表面曲率和轮廓分析、3D轮廓成像; |

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KLA R50 四探针电阻率测量仪 | ||
R50系列电阻测试仪,提供接触式四点探针(4PP)与非接触式电涡流(EC)两种测量方案,测量范围跨越10个数量级,精度高达±0.2%。专为半导体制造、柔性电子产品、太阳能电池等行业的导电薄膜电阻与厚度测量而优化,确保卓越的测量重复性和准确性。 | ||
相关应用:半导体、太阳能、平板和VR显示、化合物半导体、先进封装、导电材料、穿戴设备、印刷电路; |

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MINI450F 主动式减震台 | ||
mini 桌上型主动式隔振台全新设计,易使用,优秀的隔振性能。 | ||
相关应用:SPM,AFM,台阶仪,光学轮廓仪,激光干涉仪,桌面型SEM,激光共聚焦显微镜,表面粗糙度仪,小型硬度计,电子天平,硬盘制造装置,微操作机器人,等精密装置。 |