在半导体、新材料、生物医学等前沿科研与生产领域，精密测量仪器的每一次“抖动”都可能让数据产生偏差。环境中的低频振动，是影响扫描电镜、原子力显微镜、光学轮廓仪等设备测量精度的常见干扰源。如何有效隔绝这些微小振动？优尼康科技有限公司（翌颖科技）引进的HERZ系列主动式减震系统，正凭借其出色的减震台性能，为众多实验室提供了可靠的解决方案。
区别于传统被动减震台依赖弹簧或气浮的“缓冲”方式，HERZ系列主动式减震系统采用了一种更主动的策略。其核心原理是利用控制器内的压电加速传感器，实时感知来自地面或台面的微小振动。这些传感器将振动压力信号转换为电信号，传送至隔振模块中的压电换能器。换能器会瞬间产生一个与传入振动大小相等、方向相反的压力信号，从而“抵消”掉传入的振动。
这项技术的优势在于，它能够针对1Hz到200Hz的低频振动进行有效隔除，而这恰恰是传统被动系统难以处理的频段。在主动隔振范围（1-200Hz）内，其传输率在超过10Hz时即可低于-35dB，意味着超过98%的振动被有效隔离。当频率高于200Hz时，系统则会切换至被动隔振模式，实现全频段的振动抑制。
针对实验室中不同类型的仪器，HERZ系列提供了丰富的选择，确保每台设备都能获得合适的减震台性能。
AVI-200系列：紧凑型主动隔振系统
这款产品适合集成到需要低频隔振功能的现有设备中。它的响应时间极快，在5-20毫秒内即可完成调整。对于原子力显微镜、干涉测量仪、轮廓仪等中小型精密仪器，AVI-200系列能提供6个自由度的隔振效果，且安装简单，无需复杂的空气压缩机等辅助设备。
AVI-400系列：模块化主动隔振模块
这款产品专为大型设备设计，以模块化单元的形式呈现，可根据仪器的尺寸和重量灵活扩展。其特点是没有低频共振，振动恢复时间迅速（小于10毫秒），且采用低功耗技术，长时间运行也不会明显升温，避免了热源对精密测量的影响。每个模块的静态柔度在垂直方向约为1.75μm/N，系统噪声低于50nG/√Hz，为大型扫描电镜、光刻设备提供了稳定的工作基础。
TS系列：桌面一体型主动防震台
对于光学显微镜、台阶仪等桌面型设备，TS系列是理想之选。它集成了自动水平调节功能，即使负载重心偏离中心，也能自动调平，确保仪器始终处于水平稳定状态。其LCD显示面板可以实时监控来自X、Y、Z三个方向的振动情况，让用户对减震台性能一目了然。
AVI-600与UT-1000A：大型与超大型仪器的解决方案
当面对重达数吨的透射电子显微镜或超高真空扫描探针显微镜时，AVI-600系列及定制化的UT-1000A平台展现了其承载能力。通过增加隔振模块的数量，系统承重最高可扩展至约4000公斤（9000磅）。UT-1000A平台更是以超薄模块化设计，简化了安装过程，无需专用起重设备即可为大型电镜提供从0.5Hz开始的低频隔振，帮助用户从高倍率测量中获得更清晰、稳定的结果。
衡量减震台性能的优劣，最终要落在具体数据上。HERZ系列主动减震系统在多项关键指标上均有扎实表现：
隔振范围：主动隔振覆盖1Hz - 200Hz的关键低频区域，被动隔振覆盖大于200Hz的频段，实现全频段防护。
传输率：在超过10Hz时，传输率低于-35dB，意味着能隔绝约98.2%的振动能量。
响应时间：5-20毫秒的快速响应，使系统能及时应对突发的振动干扰。
系统噪声：低于50nG/√Hz的本底噪声，确保自身不会成为新的干扰源。
承重能力：从桌面级的数十公斤到大型设备的数吨，均有对应的模块化方案支持。
选择一套合适的减震系统，本质上是为昂贵的精密仪器投资一个稳定的测量环境。优尼康科技有限公司（翌颖科技）提供的HERZ系列减震台，不仅在产品性能上满足了从研发到生产的多样化需求，其背后更有一支具备多年行业经验的技术团队提供支持。从前期需求沟通、现场勘察，到设备安装调试、操作培训，以及7x24小时的快速售后响应，形成了覆盖设备全生命周期的服务闭环。
关于我们：优尼康科技有限公司（翌颖科技）自成立以来，一直专注于精密薄膜测量与实验室环境优化领域，是Filmetrics膜厚仪中国区总代理。我们致力于以专业的产品与贴心的服务，为您的精密仪器保驾护航。
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