电子显微镜、光刻机、纳米压痕仪等精密仪器对亚纳米级振动极为敏感。若环境振动超出设备容忍阈值，将导致图像模糊、测量偏差甚至设备损坏。作为专业减振台制造商，优尼康科技基于十余年薄膜测量与隔振经验，提供覆盖被动隔振到主动隔振的全系列产品。本文依据真实技术参数，帮助您判断设备所需的隔振级别。
普通橡胶或空气隔振为被动式，对1Hz~200Hz的低频振动隔离能力较弱，且存在低频共振放大效应。优尼康作为减振台制造商，主推主动式隔振系统：通过压电传感器实时检测输入振动，驱动换能器产生反向力抵消振动，内部反馈回路可抑制机械共振。主动隔振范围1Hz~200Hz，高于200Hz则由被动部分处理。主动系统无需压缩空气，响应时间仅5~20毫秒，无低频共振。
对于扫描电镜（SEM）、透射电镜（TEM）、光刻设备等重量级仪器，单一减振台制造商方案往往难以承载。优尼康提供AVI-600模块（单模块承重指标：垂直方向静态柔度约12μm/N），可通过增加模块数量使总承重达到9000磅（约4082公斤）。若需进一步简化安装，UT-1000A平台专为电镜集成设计——超薄模块化结构，无需专用起重设备即可在电镜调平脚下方放置隔振模块。该平台主动隔振起始频率可低至0.5Hz（需搭配LFS系统），已成功支撑3500公斤的FEI Titan TEM。
若环境振动主要来源于地面走动、空调机组、水泵等低频源（1~50Hz），必须选用主动隔振。根据附件实测数据：减振台制造商优尼康的AVI系统在10Hz以上隔振效率达-35dB（即振动透射率小于0.017）。对于超低频（0.5~1Hz）苛刻环境，UT-1000A搭配LFS选项可提供有效隔离。若振动主要为50Hz以上（如建筑结构高频噪声），则可优先考虑被动隔振或空气隔振台。
轻量级（<50kg）且仅需排除桌面踩踏振动 → TS系列主动台。
中型设备（50~300kg）且存在空调、水泵低频干扰 → AVI-200或AVI-400模块。
大型电镜/光刻机（>300kg）对0.5Hz超低频敏感 → UT-1000A定制集成方案。
设备需频繁移动或多台设备共享隔振平台 → AVI-600模块化阵列。
优尼康公众号
售后服务支持
