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光栅量测方法对比与光学法适用边界说明
测表面浮雕光栅没有万能设备。优尼康科技拆解白光干涉、共聚焦、AFM、SEM、OCD 五类方法的分工与边界：周期不小于 300 nm、深宽比不大于 5:1 用光学法，更小更高转 AFM/SEM/OCD。
2026-08-11 优尼康查看详情 -
衍射光波导光栅槽深占空比侧壁角测量方法
衍射光波导的表面浮雕光栅（SRG）槽深、占空比、侧壁角直接决定耦入效率。优尼康科技梳理白光干涉与共聚焦的量测分工与适用边界，并附设备选型判据。
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