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KLA台阶仪P-7：全自动高精度薄膜表面形貌与应力检测首选方案

优尼康科技代理的KLA台阶仪P-7，采用LVDC电容传感技术，0.01Å垂直分辨率，150mm无拼接扫描，全自动真空台，覆盖半导体、光伏、医疗器械等薄膜形貌与应力检测。