新闻资讯

非接触式轮廓仪应用，如何测膜厚？

在半导体晶圆制造、平板显示镀膜或高校新材料研发中，膜厚与台阶高度的控制直接决定产品良率。非接触式轮廓仪应用已经成为这一领域的核心技术手段。那么，非接触式轮廓仪应用究竟是如何实现膜厚测量的？它相比传统接触式方法有哪些不可替代的优势？