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工业级主动减震台：抵御环境振动干扰的精密仪器守护方案

环境低频振动让SEM、AFM、光刻设备性能打折？优尼康科技（翌颖科技）带您深入解析HERZ工业级主动减震台：压电传感与六自由度主动隔振技术，1-200Hz低频抑制超98%，提供从原理到选型的完整方案，守护您的仪器投资回报。