Lumina AT1薄膜缺陷检测仪
Lumina AT1薄膜缺陷检测仪实现亚纳米薄膜涂层、纳米颗粒、划痕、凹坑、凸起、应力点和其他缺陷的全表面扫描和成像。实用于透明、硅、化合物半导体和金属基底。在3分钟内扫描并显示150毫米晶圆。可以标刻出缺陷的位置，以便进一步分析。
可容纳高达300 x 300 mm的非圆形和易碎基板。
能够通过一次扫描分离透明基板上的顶部/底部特征。
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产品名称
： Lumina AT1 -
品牌
： Lumina -
产品型号
： AT1 -
产地
： 美国
