KURATECA LS-400 主动式防震台
KURATECA LS-400 主动式防震台产品介绍:
KURATECA LS-400 主动式防震台为电子显微镜和类似的大型研究仪器提供主动隔振性能(从0.5Hz开始)。KURATECA LS-400 主动式防震台广泛用于蔡司、莱卡、日立、日本电子等品牌的大型电子显微镜隔振,以及半导体设备、大型干扰仪、电子天平精密设备隔振。LS-400主动式防震台通过抵消干扰测量破坏性的低频振动噪声,帮助用户从仪器中获得更多信息。
KURATECA LS-400 主动式防震台产品特点:
防震范围1to200Hz
被动防震模式≥200Hz
隔离来自六个自由度的振动
无低频共振
压电传感器和驱动器
内部反馈回路阻尼谐振
紧凑,模块化的设计
安装方便,无需长期维护
安装后基本不改变显微镜的整体轮廓
为每台电镜做单一的定制
KURATECA LS-400 主动式防震台测量原理:
KURATECA LS-400 主动式防震台通过传感器实时监测外部振动信号,并将数据传输至控制器。控制器根据振动波形生成反向作用力,由执行器施加与振动相位相反的力,实现动态抵消,大幅度抑制低频振动及复杂环境干扰。结合被动隔振与主动控制技术,被动系统吸收高频振动能量,主动系统针对低频振动进行准确补偿,实现全频段隔振。采用6自由度控制,自适应调节地基振动前馈,抵消多方向振动传递。
KURATECA LS-400 主动式防震台行业应用:
KURATECA LS-400 主动式防震台广泛的应用于高负载显微镜和其他对低频振动噪声敏感的精密型研究仪器。KURATECA LS-400 主动式防震台最常见的应用是电子显微镜,它支持扫描电子显微镜和透射电子显微镜。
光刻设备 | 光谱测量设备 | 高精度计量设备 | TEM |
SEM | 超高真空扫描探针显微镜 | EBL | STM |
KURATECA LS-400 主动式防震台产品参数:
谐震频率: | None | 隔离起点 | 1Hz |
隔震率2.0Hz: | 90% | 隔震率5Hz: | 97% |
隔震率10Hz: | 99% | 最大隔震率: | 99.8%at70Hz |
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