KURATECA LS-800 主动式防震台

KURATECA LS-800 主动式防震台为电子显微镜和类似的大型研究仪器提供主动隔振性能(从0.5Hz开始)。KURATECA LS-800 主动式防震台通过抵消干扰测量的破坏性低频振动噪声,帮助用户从显微镜中获得更多信息。采用了超薄型和模块化设计,简化了安装过程,从而在安装时不需要专用的起重设备(这个方案适合绝大数的SEM)

  • 产品名称: 主动式防震台
  • 品牌: KURATECA
  • 产品型号: LS-800
  • 产地: 日本


KURATECA LS-800 主动式防震台



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KURATECA LS-800 主动式防震台产品介绍:

KURATECA LS-800 主动式防震台为电子显微镜和类似的大型研究仪器提供主动隔振性能(0.5Hz开始)KURATECA LS-800 主动式防震台通过抵消干扰测量的破坏性低频振动噪声,帮助用户从显微镜中获得更多信息。采用了超薄型和模块化设计,简化了安装过程,从而在安装时不需要专用的起重设备(这个方案适合绝大数的SEM)



KURATECA LS-800 主动式防震台产品特点:

  • 防震范围0.5to200Hz

  • 被动防震模式≥200Hz

  • 隔离来自六个自由度的振动

  • 无低频共振

  • 压电传感器和驱动器

  • 内部反馈回路阻尼谐振

  • 紧凑,模块化的设计

  • 安装方便,无需长期维护

  • 安装后基本不改变显微镜的整体轮廓

  • 为每台电镜做单一的定制



KURATECA LS-800 主动式防震台测量原理:

KURATECA LS-800 主动式防震台通过传感器实时监测外部振动信号,并将数据传输至控制器。控制器根据振动波形生成反向作用力,由执行器施加与振动相位相反的力,实现动态抵消,大幅度抑制低频振动及复杂环境干扰。结合被动隔振与主动控制技术,被动系统吸收高频振动能量,主动系统针对低频振动进行准确补偿,实现全频段隔振。采用6自由度控制,自适应调节地基振动前馈,抵消多方向振动传递。


KURATECA LS-800 主动式防震台行业应用:

KURATECA LS-800 主动式防震台广泛的应用于高负载显微镜和其他对低频振动噪声敏感的精密型研究仪器。KURATECA LS-800 主动式防震台最常见的应用是电子显微镜,它支持扫描电子显微镜和透射电子显微镜。KURATECA LS-800 主动式防震台的扁平化模块设计是有利的,因为它简化了安装过程,减少了持续维护的必要。

光刻设备

光谱测量设备

高精度计量设备

TEM

SEM

超高真空扫描探针显微镜

EBL

STM


KURATECA LS-800 主动式防震台产品参数:

谐震频率:

None

隔离起点

0.5Hz

隔震率2.5Hz

90%

隔震率5Hz

97%

隔震率10Hz

99%

最大隔震率:

99.8%at70Hz

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KURATECA LS-800 主动式防震台测量图:

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