HORIBA UVISEL Plus 椭圆偏振光谱仪
优尼康科技提供的HORIBA UVISEL Plus研究级经典型椭偏仪，采用50kHz高频PEM相位调制技术，测量光路中无任何运动部件，光谱范围覆盖190-2100nm（FUV至NIR）。膜厚测量范围从几埃至50微米，具备超薄膜所需的高精度和超厚膜所需的高光谱分辨率。FastAcqTM快速采集技术将测试灵敏度提升两倍，毫秒级动态采集模式支持在线实时监测。自动量角器变角范围40°-90°，步长0.01°；微光斑可选50μm-100μm-1mm；探测器分别针对紫外、可见和近红外提供优化的PMT和IGA探测器。搭载DeltaPsi2和Auto-Soft双软件界面，满足研究级用户深度建模与非专业人士一键操作双重需求。适用于半导体（高k/低k介质、SOI、SiC、GaAs）、平板显示（OLED、TCO）、光伏太阳能（CIGS、CdTe）、光学涂层、数据存储、纳米技术、生物医药及材料科学研究等领域。优尼康科技提供专业技术支持。
HORIBA UVISEL Plus 椭圆偏振光谱仪产品介绍：
HORIBA UVISEL Plus 相位调制型椭圆偏振光谱仪基于新版的电子设备，数据处理和高速单色仪，Fastacq技术能够为用户提供高分辨及快速的数据采集。FastAcq为薄膜表征特殊设计，双调制技术使您可以获得完整的测试结果。相位调制与消色差光学设计的结合提供了特别的膜厚测试效果。配备双单色仪系统的特殊设计满足用户的期望值，通过模块化的设计，更多的附件选择，使得仪器使用能变得灵活。可以表征各种薄膜材料,包括介电薄膜、半导体、有机物、金属、超材料和纳米材料等。
HORIBA UVISEL Plus 椭圆偏振光谱仪产品优势：
灵敏：测量速度有明显提升
UVISEL Plus相位调制椭偏仪提供简单快速的偏振调制，可用于各种样品的测量，FastAcq快速采集技术使得测试灵敏度有了提升，从而能获得界面簿膜和纳米级低衬度衬底样品的更多信息。
灵活
UVISEL Plus相位调制椭偏仪模块化设计，可灵活拓展，以适应您的应用及预算需求。相较于其他供应商,UVISEL Plus相位调制椭偏仪系统的可升级性能将更好的满足您未来的应用需求(190-2100nm)，校准仅需几分钟。
简单
AutoSoft软件界面以工作流程直观为特点，使得数据采集分析更加简便，易于非专业人员上手操作。
快速
UVISEL Plus相位调制椭偏仪集成了FastAcq快速采集技术，可在3分钟以内实现高分辨的样品(190-2100nm)，校准仅需几分钟。
HORIBA UVISEL Plus 椭圆偏振光谱仪产品测量原理：
HORIBA UVISEL Plus 椭偏仪是利用薄膜的光学特性进行膜厚测量的非接触测量方法。基于偏振光反射或透射时的状态变化来测量薄膜的厚度和折射率。当偏振光照射到薄膜表面时，反射光或透射光的偏振状态会发生变化，这种变化依赖于薄膜的厚度、折射率以及入射光的偏振状态和角度。通过分析这些变化，可以准确地推导出薄膜的厚度。
HORIBA UVISEL Plus 椭圆偏振光谱仪软件：
AutoSoft软件提供一键式测试分析。附带即点即用的菜单库帮您掌控一切椭偏分析。
定制菜单
创建您自己的菜单，进行数据采集，自动mapping和薄膜结构分析，一键即可实现。完备的材料及模型数据库
AutoSoft软件提供了大量的材料模型便于您对材料及膜系进行描述与设置。
多值计算
多值计算是HORIBA的算法，可快速准确的找到符合的结果。多值计算可以应用于膜厚以及其他色散参数的计算，能够减化繁琐的拟合步骤。
DeltaPsi2为椭偏全部功能服务
DeltaPsi2软件提供了从测试到建模分析，输出报告，以及自动操作的全部功能控制，无需多个软件间切换，使日常测试更加便捷。
HORIBA UVISEL Plus 相位调制型椭圆仪技术特点：
HORIBA UVISEL Plus 椭圆偏振光谱仪常见应用：
反射及透射椭偏测试 | 粗糙度 | 界面 | 渐变层 |
周期结构 | 各向异性 | 合金 | 纳米颗粒 |
带隙计算 | n,k多值计算 | 散射测试 | 多入射角椭偏 |
HORIBA UVISEL Plus 椭圆偏振光谱仪行业应用：
介电薄膜 | 半导体 | 有机物 |
超材料 | 纳米材料 | AndMore… |
HORIBA UVISEL Plus 椭圆偏振光谱仪产品参数：
| UVISELPlus | UVISELPlusNIR |
光谱范围： | 190-885nm | 190–2100nm |
光源： | 75W氙灯 |
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