KLA G200X 纳米压痕仪

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KLA G200X 纳米压痕仪产品介绍：

KLA G200X 纳米压痕仪系统是一种准确，灵活，使用方便的纳米级机械测试仪器。KLA G200X 纳米压痕仪测量杨氏模量和硬度，包括从纳米到毫米的六个数量级的形变测量。该系统还可以测量聚合物，凝胶和生物组织的复数模量以及薄金属膜的蠕变响应（应变率灵敏度）。模块化选项可适用于广泛应用：频率特定测试，定量刮擦和磨损测试，集成的基于探头的成像，高温纳米压痕测试，扩展负载容量达10N和自定义测试。

KLA G200X 纳米压痕仪主要功能：

模块化设计,既具有宽泛的测试功能，又可提供高通量的自动化测试功能，并配有统计数据分析包，适用于纳米力学性能测量、扫描探针显微成像、高温测量和IV电压电流特性测试。
大量预编程微纳力学测试方法，简单易用
荷载范围从1μN到1N，能够测试包括软质高聚物和硬质材料在内的各种材料
NanoBlitz3D力学谱图测试功能为用户提供数据可视化和强大的统计数据分析处理功能。可升级NanoBlitz4D选项，可用于测量高应变率
内置划痕和磨损测试，可以通过膜层界面的断裂及黏附特性和残余应力等性能的测试，实现对多层界面的性能评估。
纳米压痕专家在线讲授专业纳米压痕课程，而且移动应用程序能够提供测试方法的实时更新

KLA G200X 纳米压痕仪测量原理：

KLA G200X 纳米压痕仪采用特定几何形状的金刚石压头以载荷准静态压入材料表面，实时记录加载-卸载过程中的载荷与压入深度变化，生成‌载荷-位移曲线‌，通过曲线分析结合力学模型，计算材料的纳米硬度和弹性模量等参数。

KLA G200X 纳米压痕仪主要应用：

1. 高速硬度和模量测量

材料的机械特性表征在新材料的研究与开发中具有重要意义。KLA G200X 纳米压痕仪能够以每秒一个数据点的速率测量硬度和模量。对机械性能的高速评估使半导体和薄膜材料制造商能够将技术应用于生产线上的质量控制上。

2. 界面粘附力测量

通常通过沉积能够存储弹性能量的高压缩层来诱导薄膜分层。界面粘附力测量对于帮助用户理解薄膜的失效模式是至关重要的。KLA G200X 纳米压痕仪可以触发界面断裂并测量多层薄膜的粘附性和残余应力性质。

3. 断裂韧性

断裂韧性是在平面应变条件下发生灾难性破坏的应力-强度因子的临界值。较低的断裂韧性值表明存在预先存在的缺陷。通过使用刚度映射法容易地通过纳米压痕评估断裂韧性。（刚度映射需要连续刚度测量和NanoVision选项）

4. 粘弹特性

聚合物是非常复杂的材料;它们的机械性能取决于化学，加工和热机械历史。具体来讲，机械性能取决于材料分子母链的类型和长度，支化，交联，应变，温度和频率，并且这些依赖性通常是相互关联的。为了采用聚合物进行研究时获得有用的信息进行决策，应在相关背景下对相关样品进行机械性能测量。纳米压痕测试使得这种特定的测量更容易完成，对样品制备要求不高，可以很小且少量。KLA G200X 纳米压痕仪还可用于通过在与材料接触时振荡压头来测量聚合物的复数模量和粘弹性。

5. 扫描探针显微镜（3D成像）

KLA G200X 纳米压痕仪提供两种扫描探针显微镜方法，用于表征压痕印痕的裂缝长度，以测量设计应用中的断裂韧性。断裂韧性定义为含有裂缝的缺陷材料抵抗断裂的能力。KLA G200X 纳米压痕仪的压电平台具有高定位精度和NanoVision选项，可提供高达1nm的步长编码器分辨率，扫描尺寸为100μm×100μm。测试扫描软件选项将X/Y运动系统与NanoSuite软件相结合，可提供500μm×500μm的扫描尺寸。NanoVision阶段和测试扫描选项都需要准确定位在样品区域来完成纳米压痕测试和断裂韧性计算。

6. 耐磨性和耐刮擦性

KLA G200X 纳米压痕仪可以对各种材料进行划痕和磨损测试。涂层和薄膜将经受许多工艺，测试这些薄膜的强度及其与基板的粘合性，例如化学和机械抛光（CMP）和引线键合。重要的是这些材料在这些工艺过程中抵抗塑性形变并保持完整，也不会在基板上起泡。对于介电材料，通常需要高硬度和弹性模量来支持这些制造工艺。

7. 高温机械测试