HERZ AVI-200系列主动式减振台，主动+被动双模式隔振，主动隔振1Hz~200Hz，被动隔振>200Hz，5-20ms快速响应，10Hz以上传输率低于-35dB，无需气压支持。模块化设计单模块承重200kg，6自由度隔振。适用于SEM、TEM、AFM、SPM、激光干涉仪等超高精度设备。优尼康科技提供技术支持与安装服务，欢迎在线咨询。
主动+被动双模式隔振 | 1Hz~200Hz主动隔振 | 5~20ms快速响应 | 6自由度隔振 | 无需气压支持
HERZ AVI-200系列主动式减振台采用"主动+被动"双模式隔振技术，主动隔振范围1Hz~200Hz，被动隔振范围>200Hz，可隔离六个空间方向的振动干扰。系统内置压电加速度传感器与压电换能器，实时探测传入振动并生成反向补偿力，5-20毫秒内完成响应，10Hz以上传输率低于-35dB，无低频共振、无需气压支持。
AVI-200采用紧凑型模块化设计，支持自由扩展，单模块承重200kg，配置多个模块时负载能力可达400kg以上，桌面尺寸和隔振模块数量均可按需配置。通过LFS低频稳定器选件可将主动隔振范围延伸至0.5Hz，进一步提升低频隔振性能。系统噪声低于50nG/√Hz，确保在高灵敏度测量中不引入额外噪声。
主动+被动双模式隔振，主动隔振1Hz~200Hz，被动隔振>200Hz，六个空间方向全方位隔振。内部反馈回路抑制所有机械共振，提供优异的全频段隔振性能。
压电加速度传感器实时探测传入振动，压电换能器5-20毫秒内生成反向补偿力，快速消除环境振动干扰。10Hz以上传输率低于-35dB，隔振效果出色。
纯电气主动隔振设计，无需压缩空气，无低频共振问题。安装简单便捷，即装即用，显著降低使用门槛和维护成本。
紧凑模块化设计，单模块承重200kg，多模块组合承重可达400kg以上。桌面尺寸和隔振模块数量均可按需配置，灵活适应不同设备和空间需求。
系统噪声低于50nG/√Hz，在高灵敏度测量中不引入额外振动噪声。垂直方向1.75μm/N、水平方向3.5μm/N的柔顺度，兼顾隔振效果和系统稳定性。
选配LFS低频稳定器，可将主动隔振范围延伸至0.5Hz，显著增强超低频段隔振能力。适合对亚赫兹级振动有特殊要求的超高精度测量场景。
| 产品型号 | HERZ AVI-200系列 | 品牌 | HERZ |
| 隔振范围 | 主动 1~200Hz / 被动 >200Hz | 传输率 | >10Hz < -35dB |
| 响应时间 | 5~20ms | 隔振自由度 | 6自由度 |
| 模块尺寸 | W5.1"×D23.6"×H4.3" | 模块重量 | 约20kg |
| 垂直柔顺度 | 约1.75μm/N | 水平柔顺度 | 约3.5μm/N |
| 系统噪声 | <50nG/√Hz | 耗电量 | 约9W |
| 输入电压 | 90~125 / 200~250 VAC | 控制器尺寸 | 48×13×25cm |
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扫描电镜和透射电镜对低频振动极为敏感，环境振动直接影响成像分辨率和能谱分析精度。AVI-200主动隔振系统可有效隔离1Hz~200Hz频段的地面传导振动，确保电镜获得清晰的高分辨图像。
原子力显微镜和扫描探针显微镜的纳米级成像对任何微小振动都极为敏感。AVI-200的6自由度主动隔振能力为探针扫描提供极致稳定平台，保障原子级分辨率成像质量。
激光干涉仪和光谱仪在精密测量中对光路稳定性要求极高。AVI-200快速响应和低噪声特性可有效消除环境振动对光学测量的干扰，提升测量重复性和精度。
轮廓测量和精密称重设备同样受益于主动隔振技术。AVI-200紧凑模块化设计可灵活集成到现有设备中，无需改造实验室设施，即装即用。
AVI-200 传输率曲线：10Hz以上低于-35dB，主动+被动双模式覆盖全频段
"我们实验室的SEM一直受楼下设备低频振动困扰，安装AVI-200后成像效果明显改善。安装非常简单，无需接气源，通电即用，响应速度很快。"
"AFM在纳米压痕实验中需要极致稳定的环境，AVI-200提供了非常干净的低频隔振环境。模块化设计方便扩展，售后服务也很专业。"
AVI-200主动隔振范围1Hz~200Hz，被动隔振>200Hz，6自由度全方位隔振。响应时间仅5-20毫秒，10Hz以上传输率低于-35dB。选配LFS低频稳定器可将主动隔振延伸至0.5Hz。
AVI-200是紧凑型模块化设计，单模块承重200kg，适合单台设备隔振。AVI-400是更高规格系统，适合更大负载或更严格隔振要求。两者均采用HERZ主动+被动双模式技术，可根据设备重量和精度需求选择。
无需气压支持，纯电气主动隔振，安装非常简单。无低频共振问题，通电即用。紧凑模块化设计支持自由扩展桌面尺寸和模块数量，灵活适应不同设备布局。
单模块承重200kg，配置多个模块时负载能力可达400kg以上。桌面尺寸和隔振模块数量均可按需配置，灵活适应不同尺寸和重量的精密设备。欢迎咨询获取详细选型建议。
适用于扫描电镜(SEM)、透射电镜(TEM)、原子力显微镜(AFM)、扫描探针显微镜(SPM)、激光干涉仪、光谱仪、轮廓仪、电子天平、STM、摩擦学测试设备等对低频振动敏感的超高精度仪器。
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