HERZ AVI-400系列主动式防震系统 | 主动+被动双模隔振

HERZ AVI-400系列主动式防震系统

Name: HERZ AVI-400系列 主动式防震系统
Brand: HERZ
Availability: InStock

主动+被动双模隔振 | 0.7Hz~200Hz主动隔振 | 无低频共振 | 无需气压支持 | 负载最高800kg

HERZ AVI-400主动式防震系统

0.7Hz

主动隔振起点

90%

2Hz 隔振率

95%

5Hz 隔振率

<0.01

10Hz以上传输率(-40dB)

<20ms

响应时间

800kg

最大负载能力

产品介绍

HERZ AVI-400系列主动式防震系统 采用"主动+被动"双模式隔振技术，主动隔振范围0.7Hz~200Hz，被动隔振范围>200Hz，可隔离六个空间方向的振动干扰。系统内置压电加速度传感器与音圈马达，实时探测传入振动并生成反向补偿力，5~20毫秒内完成响应，10Hz以上传输率低于0.01（-40dB），无低频共振、无需气压支持。

模块化设计支持自由扩展，负载能力最高可达800kg以上，桌面尺寸和隔振模块数量均可按需配置。LCD显示屏实时监控振动状态，即插即用，安装简便。适用于扫描电镜(SEM)、透射电镜(TEM)、原子力显微镜(AFM)、扫描探针显微镜(SPM)、光刻机、激光干涉仪、光谱仪、轮廓仪、电子天平等各类超高精度设备。

技术标杆

优于被动隔振系统 · 无低频共振 · 振动恢复时间<10ms · 无需气压 · 无电磁干扰 · 模块化可扩展

核心优势

主动+被动双模隔振

主动模块专攻0.7~200Hz低频振动补偿，被动模块吸收200Hz以上高频振动，实现全频段隔振。

无低频共振

彻底消除被动防震台常见的低频共振峰，运行状态稳定无二次干扰，确保成像清晰度。

极速响应

压电传感器实时采集振动，音圈马达5~20ms内输出反向补偿力，10Hz以上传输率<0.01(-40dB)。

无需气压支持

纯主动控制技术，无需气源、空压机或气浮组件，即插即用，安装与维护极度简化。

模块化可扩展

支持单模块至多模块组合，负载最高800kg+，桌面尺寸和隔振模块数量按需配置。

实时监控

LCD显示屏实时显示振动状态与隔振效果，无需额外软件，直观掌握环境振动水平。

适用设备与行业

扫描电镜(SEM)

透射电镜(TEM)

原子力显微镜(AFM)

扫描探针显微镜(SPM)

光刻机/EBL

激光干涉仪

光谱仪/轮廓仪

高精度电子天平

半导体检测设备

超高真空SPM

兼容蔡司、徕卡、日立、日本电子、FEI等主流品牌电镜及各类精密仪器。

工作原理

AVI-400依靠内置压电加速度传感器实时监测平台上的振动信号，通过智能控制器快速分析振动波形与频率。控制器指令音圈马达驱动器生成与干扰振动相位相反、振幅相同的反向作用力，主动抵消外界振动干扰。系统采用六自由度控制算法，自适应地基振动前馈，全方位阻断水平、垂直及扭转方向的振动传递。结合被动隔振模块吸收高频残余振动，实现从0.7Hz开始的全程隔振保护。

产品参数

产品系列	AVI-400M / AVI-400LP Plus	品牌	HERZ (Table Stable)
主动隔振频段	0.7Hz ~ 200Hz	被动隔振频段	>200Hz
隔振自由度	六自由度 (水平/垂直/扭转)	传输率(@10Hz)	<0.01 (-40dB)
2Hz 隔振率	≥90%	5Hz 隔振率	≥95%
响应时间	5 ~ 20ms	低频共振	无
最大负载能力	800kg+ (模块化扩展)	气压要求	无需气源
传感器类型	压电加速度传感器	驱动组件	音圈马达
控制方式	自适应反馈 + 前馈控制
状态监控	LCD显示屏实时显示
安装方式	即插即用，无需工具，不改变设备外观
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