HERZ AVI-600系列主动式防振台，主动隔振0.5~200Hz，被动>200Hz，6自由度，5-20ms响应，10Hz传输率-35dB，无需气压。模块化设计单模块承重600kg，扩展可达5400kg。AVI-600M/600S/XL多规格可选。适用于SEM、TEM、UHV-SPM、光刻设备、大型干涉仪等。优尼康科技提供技术支持，欢迎在线咨询。
主动+被动双模式隔振 | 0.5~200Hz主动隔振 | 单模块承重600kg | 扩展可达5400kg | 5~20ms响应
HERZ AVI-600系列主动式防振台采用"主动+被动"双模式隔振技术，主动隔振范围0.5~200Hz，被动隔振范围>200Hz，可隔离六个空间方向的振动干扰。系统内置压电加速度传感器与压电换能器，实时探测传入振动并生成反向补偿力，5~20毫秒内完成响应，10Hz以上传输率低于-35dB，无低频共振、无需气压支持。
AVI-600采用模块化设计，单个隔振模块承重600kg，负载范围0~1200kg，通过增加隔振模块数量可将承重提升至5400kg（约9000磅），系统尺寸和配置均可按需定制。提供AVI-600M（720×288×112.5mm）、AVI-600S（396×288×112.5mm）及XL等多种规格隔振模块，适配各类大型精密仪器。控制器配备数字LED显示屏，便于实时监控系统状态。
单隔振模块承重600kg，负载范围0~1200kg/模块。通过增加模块数量总承重可提升至5400kg，系统尺寸和配置均可按需定制，适配各类大型精密仪器。
主动隔振0.5~200Hz，被动隔振>200Hz，6自由度全方位隔振。10Hz以上传输率低于-35dB，5-20ms快速响应，有效消除低频环境振动干扰。
提供AVI-600M（720×288×112.5mm）、AVI-600S（396×288×112.5mm）及XL多种规格。每个隔振器独立控制，灵活适配不同尺寸和重量的仪器设备。
采用压电加速度传感器和压电换能器，实时探测振动并生成反向补偿力。内部反馈回路有效抑制所有机械共振，提供优秀的低频段隔振能力。
全电气主动隔振设计，无需压缩空气，无低频共振问题。安装方便、无需持久维护，数字LED显示屏便于实时监控系统工作状态。
可为每台设备做整体定制设计，确保隔振方案与设备完美匹配。紧凑模块化结构安装简便，适合整合到现有需要低频隔振功能的设备中。
| 型号 | 模块尺寸 | 单模块承重 | 负载范围 |
|---|---|---|---|
| AVI-600M | 720×288×112.5mm | 0~600kg | 0~1200kg |
| AVI-600S | 396×288×112.5mm | 0~600kg | 0~1200kg |
| AVI-600XL | 更大尺寸按需定制 | 按需定制 | 按需定制 |
| * 通过增加模块数量，总承重可提升至5400kg（约9000磅） | |||
| 产品型号 | HERZ AVI-600系列 | 品牌 | HERZ |
| 主动隔振范围 | 0.5~200Hz | 被动隔振 | ≥200Hz |
| 响应时间 | 5~20ms | 隔振自由度 | 6自由度 |
| 传输率 | >10Hz < -35dB | 传感器/驱动器 | 压电式 |
| 气压需求 | 无需气压支持 | 低频共振 | 无 |
| 最大扩展承重 | 5400kg（约9000磅） | 显示器 | 数字LED显示屏 |
| 有任何选型疑问或设备隔振需求？在线联系我们，专业工程师一对一协助选型 | |||
SEM/TEM对低频振动极为敏感，AVI-600的0.5Hz起始隔振频率可有效覆盖电镜敏感频段。模块化设计支持大型电镜的承重需求，单模块600kg，多模块组合承重可达5400kg。
光刻设备和高精度计量工具对纳米级定位精度要求极高。AVI-600主动隔振系统可有效隔离环境低频振动，保障设备加工和测量精度，提升良品率和数据可靠性。
UHV-SPM和Fabry-Perot干涉仪等设备需要极致稳定的工作环境。AVI-600的6自由度主动隔振和内部反馈回路为高灵敏度测量提供洁净的振动环境。
大型半导体设备对生产环境的振动控制要求严格。AVI-600灵活的模块化配置可针对不同尺寸和重量的设备定制隔振方案，无需压缩空气，适合洁净室环境使用。
"实验室的大型SEM安装AVI-600后，高倍成像的稳定性和清晰度显著提升。600kg单模块承重能力很强，安装过程简单，无需额外改造实验室设施。"
"AVI-600为大尺寸光刻设备提供了理想的隔振方案。模块化配置灵活，可针对设备重量定制隔振模块数量和布局。数字LED显示屏方便实时监控状态。"
不确定您的精密设备需要哪种隔振方案？优尼康科技提供免费技术咨询服务，专业工程师为您推荐最合适的主动减振方案。欢迎在线咨询获取选型建议及演示。
优尼康公众号
售后服务支持
