Film Sense FS-8 多波长椭偏仪

优尼康科技提供的Film Sense FS-8多波长椭偏仪，采用8个LED光源（波长370–950nm）和无移动部件椭圆偏振探测器，通过非接触式光谱反射原理精确测量薄膜厚度和折射率。膜厚测量范围0–5μm，重复性优于0.015nm，测量速度快（1秒内完成数据采集），支持多角度测量和多层膜堆叠分析。一体化设计、LED光源寿命长达50,000小时，操作维护简单，直接通过浏览器访问软件界面。适用于半导体（氧化层/氮化层、光刻胶、高k低k介质、多晶硅）、光学薄膜（增透膜、高反膜）、平板显示（TCO导电膜、OLED有机膜）、光伏太阳能（抗反射层）、数据存储（保护膜、磁性薄膜）、生物医药（生物涂层、药物载体）、工艺研发（原位监测薄膜沉积速率和光学常数n&k值）等领域。优尼康科技提供专业技术支持。

产品名称：多波长椭偏仪

品牌： Film Sense

产品型号： FS-8

产地：美国

FilmSense FS-8 多波长椭偏仪

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FilmSense FS-8 多波长椭偏仪产品介绍：

第四代FilmSense FS-8 多波长椭偏仪使用长寿命的LED光源和无移动部件的椭圆偏振探测器。在便携的紧凑型系统中提供快速而可靠的薄膜测量。通过简单的1秒测量，可以以很高的精度和准确度测定大多数透明薄膜的薄膜厚度和折射率，并对样品进行光学常数、n&k值等薄膜性质的测量。

FilmSense FS-8 多波长椭偏仪产品特点优势：

多个LED光源：4或8个，波长370-950nm，视系统而定
一体化设计：椭圆偏振探测器中无可移动部件
光源寿命长：>50,000小时），没有耗时的对准或PM程序
测量速度快：10ms内的多波长数据
使用维护简单：直接用浏览器即可访问软件界面，没有复杂的软件和维护，无外部电子设备盒或光纤连接。

FilmSense FS-8 多波长椭偏仪产品测量原理：

FilmSense FS-8 多波长椭偏仪是利用薄膜的光学特性进行膜厚测量的非接触测量方法。基于偏振光反射或透射时的状态变化来测量薄膜的厚度和折射率。当偏振光照射到薄膜表面时，反射光或透射光的偏振状态会发生变化，这种变化依赖于薄膜的厚度、折射率以及入射光的偏振状态和角度。通过分析这些变化，可以准确地推导出薄膜的厚度。

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FilmSense FS-8 多波长椭偏仪产能力和表现：

FilmSense FS-8 多波长椭偏仪在测量透明单层薄膜的厚度和折射率方面表现良好。上限厚度取决于椭偏仪系统（通常为2-5μm），但也取决于基底和薄膜的光学常数。与其他椭偏仪系统一样，为了获得准确的折射率测量结果，需要有较小薄膜厚度（通常为10nm）。

也可以测量光吸收薄膜，但由于需要薄膜光学常数（n和k值），数据分析变得更加复杂。FilmSense软件包含多种确定n&k值的方法价值：

多样本分析；
结合椭偏仪和透射率测量；
使用新型液体样品池选项的浸入式椭偏仪；
分散模型。吸收膜的厚度上限与材料类型密切相关；对于金属膜，上限通常为50纳米。
FilmSense FS-8 多波长椭偏仪还可用于测量多层薄膜叠层（有时多达5层），具体取决于各层的厚度和折射率。可以在FilmSense软件中进行模拟，以确定特定样品结构是否可行。对于某些样品，还可以表征薄膜中的表面粗糙度和折射率梯度。