Filmetrics F10-AR 薄膜厚度测量仪

Filmetrics F10-AR 薄膜厚度测量仪采用光谱反射法,0.01μm 高精度、0.2~30μm 测量范围,专为眼科AR涂层与硬涂层数秒测厚。优尼康科技为 KLA Filmetrics 中国区总代理,咨询热线 400-186-8882,可预约免费测样。

  • 产品名称: 薄膜厚度测量仪
  • 品牌: Filmetrics
  • 产品型号: F10-AR
  • 产地: 美国
  • 测量厚度范围: 0.2μm ~ 30μm
  • 测量精度: 0.01μm
  • 波长范围: 380nm ~ 1700nm
  • 产品特点: 镜片AR涂层与硬涂层专用
Filmetrics F10-AR 薄膜厚度测量仪(眼科AR涂层)| 优尼康科技

Filmetrics F10-AR 薄膜厚度测量仪

眼科镜片AR涂层与硬涂层专用光学膜厚仪 | 光谱反射法数秒测量 | 精度0.01μm | 支持残余颜色分析


Filmetrics F10-AR 薄膜厚度测量仪产品外观
0.2~30μm
厚度测量范围
0.01μm
测量精度
<1秒
单次测量时间
100μm
光斑大小
380~1700nm
波长范围
产品介绍

操作简单且高性价比的眼科镜片涂层检测光学膜厚仪,专为AR与硬涂层薄膜厚度测量设计

Filmetrics F10-AR 薄膜厚度测量仪是面向眼科镜片增透(AR)涂层与硬涂层检测的专用光学膜厚仪,采用光谱反射法,生产线操作员仅需几分钟培训即可在数秒内完成薄膜测厚。作为一款非接触式薄膜测厚仪,它能在数秒内精准测定AR涂层与硬涂层的厚度及反射率光谱,是眼科镜片、光学镀膜、汽车及航空航天硬涂层品质管控的实用薄膜厚度测量方案。优尼康科技为KLA Filmetrics中国区总代理,提供本地化技术支持与免费测样服务。


F10-AR 集成多项专有技术:专有探头可有效抑制 1.5mm 以上基板的背面反射信号,免去背面涂黑或粗糙化的预处理步骤;AutoBaseline 自动基准功能大幅延长校准间隔,精度优于其他同类产品 5 倍;支持在用户自定义波长范围内进行反射率最小值/最大值/平均值的合格/不合格(Pass/Fail)测试。选配 UPG-F10-AR-HC 软件升级可独立测量厚度 0.25~15μm 的硬质涂层,即使在 AR 层存在的情况下也能精准测厚,一台薄膜测厚仪即可覆盖镜片减反射与加硬两道关键工序。

行业验证
Filmetrics F10-AR 是 Filmetrics F 系列中面向眼科镜片与硬涂层检测的代表型号,其 FFT 算法与多重光谱比较功能在世界范围内的硬涂层测量中已有大量应用验证。优尼康科技作为 KLA Filmetrics 中国区总代理,为国内用户提供本地化技术支持与免费样品测试服务。
核心优势
多重光谱比较

自动对比评估得出明确读数结论,避免人工判读偏差,提升薄膜测厚可靠性。

残余颜色可视化

基于CIE色彩空间系统,直观显示AR涂层残余颜色,辅助镀膜工艺优化。

FFT算法全球验证

Filmetrics FFT算法在世界范围内有丰富的硬涂层应用,厚度数据稳定可靠。

专注光学镜片工艺

自动检测镜片涂层,无需复杂校准,产线操作员数分钟即可上手操作。

专有背反抑制探头

有效抑制1.5mm以上基板背面反射信号,免去背面涂黑或粗糙化预处理。

反射率合格判定

自定义波长范围内反射率最小值/最大值/平均值的Pass/Fail测试。

典型应用领域
眼科镜片AR涂层
硬涂层厚度测量
汽车车灯涂层
航空航天硬涂层
光学镀膜
疏水层检测
残余颜色分析
零部件膜厚检测
测量原理
光谱反射干涉原理
当入射光穿透不同物质的界面时,部分光被反射。由于光的波动性,多个界面的反射光彼此干涉,使反射光的多波长光谱产生振荡现象。从光谱的振荡频率,可以判断不同界面的距离进而得到材料的厚度(越多的振荡代表越大的厚度),同时也能获得折射率与粗糙度等材料特性。F10-AR采用宽波段光源配合高精度光谱仪,实现AR涂层和硬涂层的快速精准测量。
光谱反射法测量薄膜厚度原理示意图
产品参数
参数名称规格参数名称规格
产品型号F10-AR品牌Filmetrics(KLA)
波长范围380nm ~ 1700nm光源钨卤素灯 / 氘灯
厚度测量范围0.2μm ~ 30μm测量精度0.01μm
光斑大小100μm样品台尺寸1~300mm(可定制)
硬涂层扩展(选配)UPG-F10-AR-HC:0.25~15μm 硬质涂层独立测量软件功能多重光谱比较、残余颜色分析、反射率Pass/Fail、AutoBaseline
产品应用详解
眼科镜片AR涂层检测

F10-AR专为眼科镜片增透(AR)涂层设计,可快速测量AR多层膜总厚度,并配合残余颜色分析功能优化镀膜工艺,是镜片减反射工序的常用薄膜测厚仪。

硬涂层厚度测量

选配HC软件可独立测量厚度0.25~15μm的硬质涂层,即使AR层存在也能精准测厚,适用于镜片加硬膜、防刮层等工序的薄膜厚度测量。

光学镀膜品质管控

对光学镜头减反膜、滤光膜等精密镀层进行多点测量,评估镀膜均匀性与合格率,支持反射率Pass/Fail判定,提升出货一致性。

汽车与航空航天硬涂层

面向汽车车灯涂层、航空结构件硬涂层等较厚硬质膜层,F10-AR可在数秒内给出厚度读数,帮助用户建立稳定的来料与制程检验。

残余颜色分析

基于CIE色彩空间系统形象化显示AR涂层的残余颜色,辅助工程师快速判断镀膜质量与工艺稳定性,便于批次间对比。

疏水与功能性涂层

对疏水层、防雾层等功能性薄膜进行厚度测量,扩展品质管控边界,让一台光学膜厚仪覆盖更多镜片与光学元件检测场景。

测量数据展示
F10-AR测量界面及AR涂层反射率光谱与厚度拟合结果图

典型AR涂层反射率光谱及厚度拟合结果(支持残余颜色分析与反射率合格/不合格判定)

客户评价

"F10-AR的背反抑制探头非常实用,无需对镜片背面做任何处理就能直接测量,节省了大量前处理时间。AutoBaseline功能让校准间隔大幅延长,产线效率提升明显。"

眼科镜片制造商 工艺工程师

"选配HC软件后,即使在AR层存在的情况下也能精准测量硬涂层厚度,这是我们之前用其他设备做不到的。残余颜色分析功能对AR镀膜工艺优化帮助很大。"

光学镀膜企业 研发中心
常见问答
F10-AR可以同时测量AR层和硬涂层厚度吗?+

标准F10-AR可测量AR涂层总厚度。选配UPG-F10-AR-HC软件升级后,即使在AR层存在的情况下也能精准独立测量硬涂层厚度(0.25~15μm)。

测量曲面镜片时需要注意什么?+

F10-AR专有探头设计可有效抑制1.5mm以上基板的背面反射信号,曲面镜片同样适用。建议保持探头与镜片表面垂直以获得可靠的测量效果。

F10-AR是否需要定期校准?+

AutoBaseline自动基准功能大幅延长校准间隔时间,精度优于其他同类产品5倍。日常使用中几乎无需频繁校准,降低了维护工作量。

F10-AR可以测量AR涂层的残余颜色吗?+

可以。F10-AR内置色彩空间系统,可形象化显示AR涂层的残余颜色,帮助工程师快速判断镀膜质量与工艺稳定性。

操作人员需要专业培训吗?+

不需要。生产线操作员仅需几分钟培训即可在数秒内完成测量,软件界面直观,一键式操作大幅降低使用门槛。

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标签: KLA Filmetrics

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