Filmetrics F10-RT 薄膜厚度测量仪
真空镀膜专用光学膜厚仪 | 反射率与透射率同步测量 | 1秒出结果 | 1nm~150μm
面向真空镀膜的光学膜厚仪，反射率与透射率同步测量，单击鼠标即可出结果
Filmetrics F10-RT 薄膜厚度测量仪以真空镀膜为设计目标，只需单击鼠标即可获得反射和透射光谱，单次测量时间不到1秒。简单操作即可进行 FWHM（半高宽）及颜色分析，测量结果能被快速导出和打印。它适用于光学镀膜、半导体、显示技术、消费电子等行业，是研发与产线品质管控的得力工具。
F10-RT 采用光谱反射干涉技术，波长范围覆盖 190nm~1700nm，光源为钨卤素灯与氘灯组合，厚度测量范围 1nm~150μm，测量精度 0.01nm，稳定性 0.05nm，标准光斑 6mm。较大的光斑在测量均匀膜层时可获得更平均的信号，适合镀膜批次的快速抽检与在线品质判定。作为一台可同时输出光谱与膜厚信息的薄膜测厚仪，它把光谱检测与膜厚检测合并到同一次操作中。
可选的厚度和折射率模块让您能够充分利用 F10-RT 的分析能力：加装后即可在反射率、透射率之外，进一步得到薄膜厚度与折射率（n）、消光系数（k）等光学常数。设备通过 USB 连接 Windows 电脑，安装几分钟即可完成，软件界面直观，测量数据支持导出至表格或直接打印报告，便于数据追溯与团队共享。
同时获取薄膜的反射率和透射率光谱，1秒内完成测量，一次操作拿到两组数据，显著提升检测效率。
内置分析工具，一键计算半高宽(FWHM)并进行颜色分析，满足光学镀膜的膜系品质判定需求。
可选厚度和折射率测量模块，升级后即可获得薄膜厚度、n/k值等完整光学参数，按需投入。
直观的软件界面，测量结果可快速导出至Excel或打印报告，便于数据追溯与分享。
厚度测量范围1nm~150μm，测量精度0.01nm，稳定性0.05nm，超薄膜与较厚膜层用同一台设备覆盖。
标准6mm光斑在均匀膜层上采集到更具代表性的平均信号，适合镀膜批次抽检与产线品质管控。
* 适用于透明、半透明及低吸收薄膜，覆盖固态、液态、气态薄膜形态
| 参数名称 | 规格 | 参数名称 | 规格 |
|---|---|---|---|
| 产品型号 | F10-RT | 品牌 | Filmetrics |
| 波长范围 | 190nm ~ 1700nm | 光源 | 钨卤素灯 / 氘灯 |
| 厚度测量范围 | 1nm ~ 150μm | 测量精度 | 0.01nm |
| 光斑大小 | 6mm（标准） | 稳定性 | 0.05nm |
| 测量功能 | 反射率、透射率、FWHM、颜色分析、厚度(可选)、折射率(可选) | ||
| 软件 | 专用分析软件，支持数据导出与报告打印 | ||
| 更多参数及定制配置请联系优尼康科技 | |||
| 配置 | 测量输出 | 典型适用场景 |
|---|---|---|
| F10-RT 标准配置 | 反射率、透射率、FWHM、颜色分析 | 真空镀膜与光学镀膜的光谱监控、滤光片与减反膜的膜系品质判定 |
| + 厚度测量模块 | 在标准配置基础上增加薄膜厚度 | 需要同时掌握光谱表现与膜层厚度的镀膜工艺调试与产线抽检 |
| + 折射率测量模块 | 增加折射率(n)、消光系数(k)等光学常数 | 新材料研发、膜系设计验证、光学常数建模与工艺复核 |
* 厚度与折射率为可选升级模块，可按检测需求分阶段配置，具体方案可联系优尼康科技工程师确认。
F10-RT 以真空镀膜为设计目标，可对减反膜、高反膜、滤光片等镀层同步采集反射率与透射率光谱，配合FWHM与颜色分析判定膜系是否达标，适合镀膜批次的快速复核与产线品质管控。
针对光刻胶、介电层、PVD/CVD薄膜、砷化镓等半导体膜层，加装厚度模块后可完成非接触膜厚检测，1nm~150μm量程覆盖超薄膜到较厚膜层，避免制样带来的样品损伤与时间成本。
OLED器件与ITO/TCO透明导电膜的光学表现直接影响显示效果与导电性能。F10-RT可同步给出透射率与反射率曲线，配合折射率模块评估光学透过率与膜层质量的平衡。
太阳能电池减反层的光谱透过性能与镀层均匀性可通过反射/透射光谱快速评估；磁性材料表面膜层与射频识别器件的镀膜厚度检测同样适用。
电子产品与电路板的防水涂层、铝制外壳阳极氧化膜、派瑞林与硅橡胶等保护层，均可用F10-RT做非接触薄膜厚度测量与外观颜色一致性分析。
医疗器械表面涂层、微机电系统(MEMS)结构层与空气盒厚等应用中，非接触测量避免了对精细结构的接触损伤，测量数据可直接导出用于工艺追溯。
典型反射/透射光谱及厚度拟合结果
"F10-RT的反射/透射同步测量功能让我们在镀膜工艺监控中节省了一半时间。1秒出结果，配合颜色分析工具，极大方便了膜系品质判定。"
"用于AR膜和滤光片的透射光谱测量，F10-RT操作简单，数据重复性很好。可选的厚度模块使我们能同时获得膜厚信息，一台设备满足多种需求。"
F10-RT面向真空镀膜和光学镀膜设计，标配反射率/透射率同步测量及颜色分析功能，标准光斑较大(6mm)，适合均匀膜层的快速检测；F20系列更侧重通用型膜厚测量，可选配更多波长范围和显微光斑。两者都基于光谱反射干涉技术，选型时按样品形态和检测目标确定。
可以。F10-RT支持反射率测量模式，适用于不透明基底（如金属、半导体）上的透明或半透明薄膜，同样可获得膜厚和光学常数。若基底透明，还可同步采集透射率光谱，一次测量得到更完整的光学信息。
厚度测量范围为1nm~150μm，覆盖从超薄膜到较厚膜层；测量精度0.01nm，稳定性0.05nm。波长范围190nm~1700nm，光源为钨卤素灯与氘灯，可满足大多数光学镀膜和半导体膜层的薄膜厚度测量需求。
标准F10-RT主要提供光谱测量、FWHM与颜色分析，厚度和折射率测量为可选升级模块。您可根据实际检测需求选择是否添加，灵活控制预算，后续也可按需升级为完整的薄膜测厚仪配置。
非常简便。仅需通过USB连接至Windows电脑，安装配套软件，几分钟内即可开始测量。软件界面直观，一键完成反射/透射光谱采集，操作员无需专业培训即可上手，测量结果可快速导出或打印为报告。
F10-RT适用于光学镀膜的减反膜与滤光片光谱检测、半导体的光刻胶与介电层膜厚检测、OLED与ITO/TCO等显示材料测量、太阳能电池镀层、消费电子防水涂层与阳极氧化膜、医疗器械涂层以及派瑞林、硅橡胶等聚合物薄膜的厚度与光学性能表征。
免费样品测试服务
不确定您的薄膜样品是否适合F10-RT测量？优尼康科技提供免费样品测试服务！您只需将样品寄送给我们，专业工程师将使用F10-RT薄膜厚度测量仪为您进行反射/透射光谱及厚度测量，并提供详细的测试报告和选型建议。
