Filmetrics F32 光反射式膜厚仪
优尼康科技提供的Filmetrics F32在线式光学膜厚测量仪，专为在线生产环境设计，采用光谱反射法非接触测量薄膜厚度，可同时监控多达4个工艺点的薄膜厚度变化。配备多通道光谱分析系统，测量范围覆盖15nm–250μm（紫外/近红外扩展选件），波长范围380–1700nm，数秒内即可完成一次测量。通过数字I/O与主机软件实现远程启动/停止/复位控制，数据自动导出至SPC系统进行统计过程控制。FILMeasure软件预置100+材料库，可选透镜组件快速适配现有生产装置。适用于半导体晶圆（光刻胶/氧化物/氮化膜）、MOCVD/MBE沉积工艺实时监控、OLED显示（ITO/TCO导电膜）、连续镀膜生产线、卷对卷工艺、太阳能电池、光学涂层（增透膜/硬质涂层）、生物医疗涂层（药物支架/派瑞林涂层）、微机电系统MEMS、PVD/CVD镀膜监控等领域。优尼康科技提供专业技术支持与集成服务。
Filmetrics F32 光反射式膜厚仪产品介绍：
Filmetrics F32 光反射式膜厚仪特殊的光谱分析系统采用半宽的3u rack- mount底盘，加上附加的分光计，可达到四个不同的位置(EXR和UVX版本至多两个位置)。F32膜厚仪软件可以通过数字I/O或主机软件来控制启动/停止/复位测量。测量数据可以自动导出到主机软件中进行统计过程控制。还提供可选的透镜组件，以便于集成到现有的生产装置上。
Filmetrics F32 光反射式膜厚仪产品特点优势：
非接触测量：避免损伤薄膜，适用于脆弱或敏感材料；
高精度与宽量程&：垂直分辨率达纳米级，可测厚度范围从1nm至3mm；
多场景适用性：基本上所有光滑的、半透明的或低吸收系数的薄膜都可以测量。
测量速度快：配置完成后，数秒内即可完成测量。
预装了100多种材料，使得单层和多层薄膜的测量很容易实现
提供可选的透镜组件，以便于集成到现有的生产装置上。
Filmetrics F32 光反射式膜厚仪产品测量原理：
当入射光穿透不同物质的界面时将会有部分的光被反射，由于光的波动性导致从多个界面的反射光彼此干涉，从而使反射光的多波长光谱产生震荡的现象。从光谱的震荡频率，可以判断不同界面的距离进而得到材料的厚度（越多的震荡代表越大的厚度），同时也能得到其他的材料特性如折射率与粗糙度。
Filmetrics F32 光反射式膜厚仪产应用与膜层范例：
薄膜特性：厚度、反射率、透射率、光学常数、均匀性、刻蚀量等
薄膜种类：透明及半透明薄膜，常见如氧化物、聚合物甚至空气
薄膜状态：固态、液态和气态薄膜都可以测量
薄膜结构：单层膜、多层膜；平面、曲面
Filmetrics F32 光反射式膜厚仪产品常见工业应用：
半导体膜层 | 显示技术 | 消费电子 | 派瑞林 |
光刻胶 | OLED | 防水涂层 | 电子产品/电路板 |
介电层 | ITO和TCOs | 射频识别 | 磁性材料 |
砷化镓 | 空气盒厚 | 太阳能电池 | 医学器械 |
微机电系统 | PVD和CVD | 铝制外壳阳极膜 | 硅橡胶 |
Filmetrics F32 光反射式膜厚仪产品参数：
波长范围： | 380-1050nm | 光源： | 卤素灯 |
厚度测量范围： | 15nm-70um | 测量精度： | 0.02nm |
光斑大小： | 探头距样品距离0.007倍 | 样品台尺寸： | 1mm-300mm |
Filmetrics F32 光反射式膜厚仪测量图：
