Filmetrics F50 自动Mapping膜厚仪
全自动薄膜厚度Mapping系统——极坐标定位，每秒2点，可视化2D/3D厚度分布图
5nm～2mm 厚度测量范围 | 0.02nm 测量精度 | 2点/秒 扫描速度 | 450mm 最大样品直径 |
产品介绍
Filmetrics F50 自动Mapping膜厚仪 是一台专为产线和研发设计的全自动薄膜厚度Mapping系统。采用高精度r-θ极坐标移动平台，可在直径450mm的样品上快速定位任意测量点位，每秒完成2个点的厚度测试，并自动生成直观的2D或3D厚度分布图。作为一台高效率的自动膜厚测量仪，F50不仅支持自定义测量点位地图，还能轻松应对成千上万次重复测量，是半导体膜厚测量、光学镀膜均匀性检测等领域不可或缺的自动膜厚测试设备。
行业认可Filmetrics F50 基于久经考验的F20系列光学膜厚测量技术，专为全自动Mapping需求升级，已在全球众多半导体和光电企业的产线及实验室中广泛部署，成为自动薄膜厚度检测的标准配置之一。
产品特点
【全自动Mapping】内置r-θ极坐标平台，自动移动样品进行多点膜厚测量，快速获取整片样品的薄膜厚度分布数据，是真正的自动化膜厚测量系统。
【高速高精度】扫描速度最高可达2点/秒，同时保持0.02nm的测量精度，兼顾了膜厚Mapping效率与数据可靠性，满足产线快速膜厚检测需求。
【2D/3D可视化】自动生成2D或3D厚度分布图，让薄膜厚度均匀性一目了然，为工艺优化提供直观依据。
【灵活点位编辑】用户可自由绘制测量点位地图，支持任意位置、任意数量的测试点，实现真正的薄膜厚度Mapping自由编辑。
【长期稳定可靠】配置高精度、长寿命移动平台，设计用于成千上万次重复测量，稳定性极高，适合作为产线在线膜厚测量设备。
测量原理
F50采用与F20相同的光反射干涉原理进行非接触薄膜厚度测量。入射光在薄膜上下表面反射并干涉形成振荡光谱，通过分析光谱频率精确计算膜厚及光学常数。在此基础上，F50通过高精度自动平台移动样品，按预设点位逐个测量，最终合成整片样品的膜厚分布图，是光学膜厚测量技术自动化的典型应用。
适用薄膜类型
常见工业应用
半导体膜层 | 显示技术 | 光学镀膜 | 生物医疗 |
光刻胶均匀性 | OLED膜层 | 抗反射膜 | 医疗器械涂层 |
介电层 | ITO透明电极 | 滤光片 | 硅胶 |
CVD/PVD镀层 | 液晶盒厚 | 太阳能电池 | 磁性材料 |
| 磷化铟Inp衬底 | PI膜 | 减反层 | 医用球囊
|
产品参数
波长范围 | 190nm-1340nm | 光源 | 钨卤素灯、氘灯 |
厚度测量范围 | 5nm～2mm | 测量精度 | 0.02nm |
光斑大小 | 标准1.5mm | 样品台尺寸 | 1mm～300mm |
扫描速度 | 约2点/秒 |
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F50系列选型指南
| 型号 | 厚度范围 | 波长范围 | 典型适用场景 |
|---|
| F50-UV | 5nm～40μm | 190～1100nm | 超薄膜Mapping（OLED、光刻胶） |
| F50-UVX | 5nm～250μm | 190～1700nm | 宽光谱超薄膜Mapping |
| F50 | 20nm～70μm | 380～1050nm | 通用型（半导体、聚合物） |
| F50-EXR | 20nm～250μm | 380～1700nm | 较厚膜层Mapping（光学镀膜） |
| F50-NIR | 100nm～250μm | 950～1700nm | 近红外膜厚Mapping |
| F50-XT | 0.2μm～450μm | 1440～1690nm | 红外厚膜专用 |
| F50-s1310 | 7μm～2Mm | 1280～1340nm | 超厚膜，特定材料 |
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实测数据展示
客户评价
“F50自动Mapping膜厚测量系统让我们的晶圆薄膜均匀性检测效率提升了近10倍。极坐标平台定位准确，2秒一个点，整片晶圆几分钟就扫描完了，自动生成的3D厚度分布图非常直观，强烈推荐给需要膜厚Mapping的同行。”
——某半导体晶圆代工厂 质量部
“我们主要用F50做光学镀膜的均匀性检测，自定义测量点位功能非常实用，能够针对镀膜边缘和中心进行密集采样，快速判断整炉产品的膜厚一致性，已经成为我们镀膜工艺管控的关键设备。”
——某精密光学镀膜企业 研发部
常见问题 (FAQ)
F50自动Mapping膜厚测量仪是如何工作的？
F50通过r-θ极坐标移动平台自动移动样品，在每个用户预设的测量点位上使用光反射干涉原理进行膜厚测量，并将所有数据汇总生成2D或3D厚度分布图，实现全自动薄膜厚度Mapping。
F50的扫描速度是多少？可以测多大样品？
F50扫描速度约2点/秒，最大可测样品直径达450mm。对于常规的数十点Mapping，几分钟内即可完成整片样品的膜厚检测。
F50可以自定义测量点位吗？
可以。用户可在软件中自由绘制点位地图，支持任意位置和任意数量的测量点，实现完全自定义的薄膜厚度Mapping，满足不同产品的检测需求。
F50的测量精度和F20一样吗？
是的，F50继承了F20系列0.02nm的高精度测量能力，只是增加了自动Mapping功能，因此在精度上并无妥协，是可靠的自动膜厚测量系统。
F50适合在线产线使用吗？
非常合适。F50采用长寿命移动平台，专为大批量重复测量设计，软件可设置自动化测量序列，非常适合半导体、光学镀膜等行业产线的膜厚在线检测和质量控制。
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