Filmetrics F54 高分辨率自动薄膜测量系统

优尼康科技提供的Filmetrics F54光学膜厚测量仪（膜厚仪），采用光谱反射（白光干涉）技术，非接触式测量薄膜厚度、折射率、反射率、吸收率和表面粗糙度。五种配置覆盖4nm至120μm膜厚测量范围，波长范围190–1700nm，最小光斑尺寸可达2μm，测量精度达0.02nm。配置电动R-Theta（极坐标）或XY自动载物台，按预设图案自动移动定位，最快每秒测量2个点位，支持直径达450mm的大尺寸样品。内建数十种极坐标、矩形、线性测绘模式，用户可自定义测量点，2D/3M膜厚分布图实时呈现。内置130+种材料库与高级建模算法，涵盖从纳米级超薄膜至百微米厚膜的全场景需求。适用于半导体晶圆制造（光刻胶、氧化物/氮化物、SOI）、化合物半导体、液晶显示器LCD（液晶间隙、ITO/TCO透明导电膜）、光学涂层（硬质涂层、增透膜）、MEMS微机电系统、生物医学涂层（导管/支架涂层）、OLED显示、太阳能电池及派瑞林涂层等行业。优尼康科技提供专业技术支持。

产品名称：高分辨率自动薄膜测量系统

品牌： Filmetrics

产品型号： F54

产地：美国

测量厚度范围： 4nm – 120μm（依配置）

测量精度： 0.02nm

波长范围： 190nm – 1700nm

产品特点：微区自动Mapping

Filmetrics F54 高分辨率自动薄膜测量系统 | 全自动Mapping膜厚仪

Filmetrics F54 高分辨率自动薄膜测量系统

Name: Filmetrics F54 高分辨率自动薄膜测量系统
Brand: Filmetrics
Availability: InStock

全自动Mapping膜厚仪 | 一键式薄膜厚度面形貌分析 | 可编程自动样品台

4nm~120μm

厚度测量范围

2μm

最小光斑尺寸

0.02nm

测量精度

450mm

最大样品直径

2点/秒

测绘速度

产品介绍

Filmetrics F54 是一款高分辨率自动薄膜测量系统，采用光谱反射法（白光干涉技术），非接触式测量薄膜厚度、折射率、反射率和表面粗糙度。五种配置覆盖4nm至120μm膜厚测量范围，波长范围190–1700nm，最小光斑尺寸可达2μm，测量精度达0.02nm。

配置电动R-Theta（极坐标）或XY自动载物台，按预设图案自动移动定位，最快每秒测量2个点位，支持直径达450mm的大尺寸样品。内建数十种极坐标、矩形、线性测绘模式，用户可自定义测量点，2D/3D膜厚分布图实时呈现。内置500+种材料库与高级建模算法，涵盖从纳米级超薄膜至百微米厚膜的全场景需求。

行业标杆

Filmetrics F54 广泛应用于半导体晶圆制造、化合物半导体、LCD/OLED显示、光学涂层、MEMS、太阳能电池等领域，是薄膜厚度均匀性分析的理想工具。

核心优势

全自动Mapping

电动R-Theta或XY载物台，按预设图案自动定位，最快2点/秒，支持450mm大尺寸样品。

灵活测绘模式

内建数十种同心圆、矩形、线性模式，用户可自定义无限数量测量点，数分钟完成配方建立。

2D/3D可视化

实时生成膜厚分布图，多种视角检视均匀性，支持数据导出与对比分析。

宽范围高精度

4nm~120μm厚度范围，精度0.02nm，五种配置满足从超薄到厚膜的全场景需求。

丰富材料库

内置500+种材料库，支持高级建模与自定义色散，精准拟合多层膜结构。

典型应用领域

半导体晶圆

光刻胶

介电层/氧化物

化合物半导体

OLED显示

ITO/TCO导电膜

LCD液晶间隙

MEMS微机电

光学涂层/AR膜

太阳能电池

派瑞林涂层

生物医学涂层

PVD/CVD薄膜

防水涂层

阳极氧化膜

测量原理

光谱反射法：白光照射样品，薄膜上下界面反射光发生干涉，形成特征光谱。通过分析光谱的振荡频率，可精确计算膜层厚度（振荡越密集厚度越大），同时获得折射率(n)、消光系数(k)和反射率等光学常数。F54配备高精度光谱仪和自动载物台，实现全自动多点Mapping测量，快速生成厚度均匀性分布图。

产品参数

型号	F54 (五种配置可选)	品牌	Filmetrics (KLA)
测量技术	光谱反射法	测量方式	非接触式 / 自动Mapping
波长范围	190nm – 1700nm	光源	钨卤素灯 / 氘灯
厚度范围	4nm – 120μm（依配置）	最小光斑	2μm（高倍物镜）
测量精度	0.02nm	准确度	1nm 或 0.2% 取较大者
稳定性	0.05nm	样品台类型	R-Theta（极坐标）/ XY自动载物台
最大样品尺寸	450mm直径	测绘速度	最快2点/秒
测绘模式	同心圆、矩形、线性、自定义点阵
软件功能	FILMeasure、2D/3D膜厚分布图、130+材料库、多层建模、数据导出
更多定制配置请联系优尼康科技