Filmetrics F54-XYT-300 自动测量光学膜厚仪
优尼康科技提供的Filmetrics F54-XYT-300自动光学膜厚测量测绘仪，在F54-XY-200的基础上增加高性能旋转样品台（R-Theta），专为300mm大尺寸晶圆的全自动膜厚测绘而设计。采用光谱反射技术，测量带图案及无图案样品，五种配置覆盖膜厚4nm至120μm，光斑尺寸2μm至100μm，波长范围190-1700nm。电动XY工作台结合高性能旋转台，自动移动到预选测量点，测量速度最高每秒2点，精度1nm或0.2%，重复性0.02nm，稳定性0.05nm。配备集成式显微镜和实时摄像头，支持图案表面显微测量，适用于较粗糙材料。内置数十种极坐标、矩形、线性测绘图案，支持自定义无限制测量点阵，FILMapper软件进一步提升测量自动化水平。适用于300mm半导体晶圆制造、化合物半导体、LCD/OLED显示、光学涂层、MEMS微机电系统、生物医学薄膜、光伏太阳能等行业的大尺寸晶圆全自动膜厚均匀性检测。优尼康科技提供专业技术支持。
Filmetrics F54-XYT-300 自动测量光学膜厚仪产品介绍：
Filmetrics F54-XYT-300 自动测量光学膜厚仪借助F54-XYT-300的光谱反射系统，可以快速轻松地测量200 x 200mm样品的薄膜厚度。电动XY工作台自动移动到选定的测量点并提供快速的厚度测量，速度达到每秒两点。
Filmetrics F54-XYT-300 自动测量光学膜厚仪产品特点优势：
Filmetrics F54-XYT-300 自动测量光学膜厚仪测量原理：
当入射光穿透不同物质的界面时将会有部分的光被反射，由于光的波动性导致从多个界面的反射光彼此干涉，从而使反射光的多波长光谱产生震荡的现象。从光谱的震荡频率，可以判断不同界面的距离进而得到材料的厚度（越多的震荡代表越大的厚度），同时也能得到其他的材料特性如折射率与粗糙度。
Filmetrics F54-XYT-300 自动测量光学膜厚仪产品应用与膜层范例：
半导体膜层 | 显示技术 | 消费电子 | 派瑞林 |
光刻胶 | OLED | 防水涂层 | 电子产品/电路板 |
介电层 | ITO和TCOs | 射频识别 | 磁性材料 |
砷化镓 | 空气盒厚 | 太阳能电池 | 医学器械 |
微机电系统 | PVD和CVD | 铝制外壳阳极膜 | 硅橡胶 |
Filmetrics F54-XYT-300 自动测量光学膜厚仪产品常见工业应用：
半导体制造 | LCD液晶显示器 | 光学镀层 | MEMS微机电系统 |
光刻胶 | 聚酰亚胺 | 硬涂层 | 光刻胶 |
氧化物/氮化物/SOI | ITO透明导电膜 | 抗反射涂层 | 硅系膜层 |
晶圆背面研磨 |
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Filmetrics F54-XYT-300 自动测量光学膜厚仪产品参数：
波长范围： | 190nm-1700nm | 光源： | 钨卤素灯、氘灯 |
测量nk厚度要求1*： | 50nm | 测量精度2： | 0.02nm |
准确度*：取较大者 | 1nm或0.2% | 稳定性3： | 0.05nm |
样品大小： | ≤直径300毫米 | 速度（含有真空平台）： | 5个点-8秒 25个点-21秒 56个点-43秒 |
光斑大小 | 标准500 微米孔径 | 选配250 微米孔径 | 选配100 微米孔径 |
5X物镜 | 100μm | 50μm | 20μm |
10X物镜 | 50μm | 25μm | 10μm |
15X物镜 | 33μm | 17μm | 7μm |
50X物镜 | 10μm | 5μm | 2μm |
Filmetrics F54-XYT-300 自动测量光学膜厚仪测量图：
