Filmetrics F60-t 自动光反射膜厚仪

优尼康科技提供的Filmetrics F60-t自动光反射膜厚仪，在F50系列基础上增加了专门用于生产环境的自动化功能，采用光谱反射法测量薄膜厚度、折射率（n值、k值）、反射率、吸收率和表面粗糙度。配备自动缺口定位、内置自动基线测量、带运动联锁的封闭式测量载物台、预装软件的工业计算机，并可选配全自动晶圆传输系统，支持SECS/GEM工厂自动化软件协议。电驱R-Theta载物台自动选取待测点位，数秒内完成膜厚测量。波长范围190-1340nm，测量精度0.02nm，准确度1nm或0.2%，稳定性0.05nm，标准光斑1.5mm（最小可达150μm），内置130+种材料库。测量范围可根据波长配置选择：短波长（F60-t-UV）适用于较薄薄膜，长波长适用于较厚、较粗糙、透光性较差的薄膜。适用于半导体晶圆制造（硅片、蓝宝石、SiC、LiTaO3、GaN、光刻胶）、LCD/OLED显示（液晶间隙、聚酰亚胺、ITO/TCO透明导电膜）、光学涂层（硬质涂层、增透膜、滤光片）等行业。优尼康科技提供专业技术支持。

产品名称：自动光反射膜厚仪

品牌： Filmetrics

产品型号： F60

产地：美国

Filmetrics F60-t 自动光反射膜厚仪

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Filmetrics F60-t 自动光反射膜厚仪产品介绍：

Filmetrics F60-t 自动光反射膜厚仪就像我们的F50白光干涉膜厚测量仪产品一样。主要测绘薄膜厚度和折射率。但它增加了许多用于生产环境的功能。这些功能包括凹槽自动检测、自动基准确定、全封闭测量平台、预装软件的工业计算机，以及可以升级到全自动化晶圆传输的机型。

Filmetrics F60-t 自动光反射膜厚仪特点优势：

自动化薄膜厚度绘图系统，快速定位、实时获得结果；
可测样品膜层：基本上光滑的。非金属的薄膜都可以测量；
所有系统皆使用直观的标准分析软件；
凹槽自动检测
自动基准确定
全封闭测量平台

Filmetrics F60-t 自动光反射膜厚仪产品测量原理：

当入射光穿透不同物质的界面时将会有部分的光被反射，由于光的波动性导致从多个界面的反射光彼此干涉，从而使反射光的多波长光谱产生震荡的现象。从光谱的震荡频率，可以判断不同界面的距离进而得到材料的厚度（越多的震荡代表越大的厚度），同时也能得到其他的材料特性如折射率与粗糙度。

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Filmetrics F60-t 自动光反射膜厚仪产品应用：

半导体膜层	显示技术	消费电子	派瑞林
光刻胶	OLED	防水涂层	电子产品/电路板
介电层	ITO和TCOs	射频识别	磁性材料
砷化镓	空气盒厚	太阳能电池	医学器械
微机电系统	PVD和CVD	铝制外壳阳极膜	硅橡胶

Filmetrics F60-t 自动光反射膜厚仪产品参数：

波长范围：	190nm-1340nm	光源：	钨卤素灯
光斑大小：	标准1.5毫米（最小可达150μm）	测量精度：	0.02nm1
准确度*：取较大者	1nm或0.2%	稳定性：	0.05nm3
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