HORIBA Smart SE 椭圆偏振光谱仪
台式经济型椭圆偏振光谱仪，光谱范围 450–1000nm，单次测量 <1 秒
HORIBA Smart SE 是台式经济型椭圆偏振光谱仪，采用液晶调制技术，面向快速薄膜表征与器件质量控制
HORIBA Smart SE 椭圆偏振光谱仪采用液晶调制技术，光谱范围覆盖 450–1000nm，单次测量时间小于 1 秒，可在数秒内自动完成样品测量与分析并输出完整报告。作为 SE 系列中的台式经济方案，它在保持较高测量精度的同时，明显降低了使用与维护门槛，适配教学演示、研发快速验证以及产线质量控制等场景。CCD 探测系统实现快速全谱输出，一键式操作直接给出薄膜厚度、光学常数等关键结果，是单层与多层薄膜快速表征的实用工具。
相比同系列的 HORIBA Auto SE（全自动方案），Smart SE 更强调台式经济与灵活部署；两者同属 SE 系列，可按通量与自动化需求搭配选择。优尼康科技作为 HORIBA 椭偏仪中国区代理，提供本地化的选型咨询、安装培训与售后技术支持。
配备 MyAutoView 光斑可视系统，可清晰观察光滑或粗糙的样品表面，帮助用户将测量光斑准确落在目标位置，提升定位可靠性。
借助完整的操作向导自动检测并诊断问题、协助故障处理，仪器维护简单，非专业人员也能较快上手。
入射角度可调，支持在线实时监测，在线与离线配置可灵活切换，适配研发验证与产线监测等不同工况。
在 450–1000nm 波长内即可实现快速测量，单次测量时间小于 1 秒，适合高通量与重复检测。
提供 75µm×150µm 至 500µm×500µm 等多种光斑规格，可在软件中选择，适配不同样品尺寸与局部区域测量。
自动样品台尺寸 200mm×200mm，XYZ 方向自动调节，支持自动 Mapping 扫描，分析镀膜均匀性。
| 应用领域 | 椭偏测量场景 | 典型测量对象 |
|---|---|---|
| 半导体制造 | 氧化物、氮化物与光刻胶等薄膜的厚度与光学常数表征，支撑工艺窗口筛选。 | SiO₂、SiNx、多晶硅、光刻胶 |
| 平板显示（OLED/TFT） | 叠层膜厚、光学性质及掺杂影响分析，适用于 OLED 叠层与 TFT 表征。 | OLED 叠层、a-Si/LTPS TFT、ITO 透明电极 |
| 光伏太阳能 | 减反射膜、钙钛矿吸收层的厚度与光学常数测定，支撑电池效率优化。 | SiNx 减反射膜、钙钛矿薄膜 |
| 光学涂层 | 增透膜、高反膜、自清洁型涂层的膜厚与折射率 n、k 测定，判断镀膜是否达到设计值。 | TiO₂、SiO₂、Ta₂O₅、MgF₂ |
| 有机材料与聚合物 | 有机薄膜与高分子的光学常数、厚度及薄膜吸附表征，适用于功能层研究。 | 有机半导体、聚合物、自组装单分子膜 |
| 金属与介电薄膜 | 金属薄膜、介电薄膜的厚度与光学常数测定，支持多层膜建模。 | 金属薄膜、SiO₂、HfO₂ |
| 生物化学 | 薄膜吸附与表面功能处理的厚度与光学特性分析。 | 生物化学薄膜、表面功能层 |
Smart SE 面向从简单到中等的多种薄膜体系，可测量与表征的项目包括：
半导体（氧化物/氮化物/光刻胶）、介电薄膜、金属薄膜、有机物与高分子、透明导电氧化物等。
单层膜、多层堆叠膜、粗糙界面、渐变折射率膜、各向异性层等。
厚度、折射率 n、消光系数 k、表面粗糙度、薄膜不均匀性、反射率、透过率等。
膜层质量评估、工艺窗口筛选、镀膜均匀性 Mapping、教学演示与产线质控。
椭圆偏振法是一种基于薄膜光学特性的非接触测量方法。当一束偏振光照射到薄膜表面时，反射光或透射光的偏振态会随薄膜的厚度、折射率以及入射角发生改变。通过分析偏振态变化解析出的椭偏角 Ψ（振幅比）和 Δ（相位差），结合模型拟合即可推导出薄膜的厚度与光学常数。Smart SE 采用液晶调制技术，在 450–1000nm 波段内快速获取全谱 Ψ/Δ 数据，实现单次测量小于 1 秒的快速表征。
在 450–1000nm 内一次测量获得整段光谱的 Ψ/Δ 数据，CCD 探测系统实现快速全谱输出，单次测量小于 1 秒。
MyAutoView 光斑可视系统可观察样品表面，将光斑准确落在目标位置，兼顾光滑与粗糙样品。
入射角度可调，支持在线实时监测，在线与离线配置灵活切换，适配研发与产线。
200mm×200mm 自动样品台 XYZ 自动调节，支持自动 Mapping 扫描，分析镀膜均匀性。
| 参数名称 | 规格 | 参数名称 | 规格 |
|---|---|---|---|
| 仪器类型 | 椭圆偏振光谱仪（液晶调制） | 光谱范围 | 450–1000 nm |
| 单次测量时间 | < 1 秒（Max 1s） | 可视系统 | MyAutoView 光斑可视 |
| 光斑尺寸 | 75µm×150µm 至 500µm×500µm（多种规格） | 探测器 | CCD 探测系统 |
| 自动样品台 | 200mm×200mm（XYZ 自动调节） | 入射角度 | 可调 |
| 配置方式 | 在线 / 离线灵活切换 | 软件 | DeltaPsi2 |
注：更多详细参数（如膜厚测量范围等）依具体配置而定，可联系优尼康科技获取对应选型资料。
Smart SE 与 Auto SE 同属 HORIBA SE 系列椭圆偏振光谱仪，定位侧重不同，可按通量与自动化需求选择：
| 对比项 | Smart SE | Auto SE |
|---|---|---|
| 产品定位 | 台式经济方案，注重性价比与快速上手 | 全自动椭偏方案，适合高通量批量检测 |
| 操作方式 | 一键式操作，自动样品台 200mm×200mm | 全自动装载与测量流程 |
| 适用场景 | 教学演示、研发快速验证、产线质控 | 大批量、重复性高的自动化检测 |
基于 Windows 操作系统的椭圆偏振分析软件，充分利用 HORIBA 椭偏仪硬件特点，具备梯度膜层、粗糙界面、各向异性、材料组份/结晶度、周期结构、退偏因子等丰富建模与拟合功能，并提供完整的材料属性数据库。
预设测量流程与操作向导，非专业人员也可快速完成样品测量与报告输出；智能诊断可自动检测并协助处理常见问题。
膜层厚度、折射率 n、消光系数 k、吸收系数等基础光学参数。
表面粗糙度、薄膜不均匀性、界面特性与带隙等深层信息。
反射率、透过率等光学特性，支撑镀膜性能判定。
一键式输出完整分析报告，测量数据可沉淀为材料光学常数库。
Smart SE 由 HORIBA 制造，优尼康科技作为 HORIBA 椭偏仪中国区代理，提供从选型咨询、安装培训到售后的专业技术支持。如需评估样品适用性，可寄送样品或由工程师协助测试，确认测量方案后再行采购。
两者同属 HORIBA SE 系列。Smart SE 是台式经济方案，注重性价比与快速上手，配备 200mm×200mm 自动样品台与 MyAutoView 光斑可视系统，适配教学演示、研发快速验证与产线质控；Auto SE 定位为全自动椭偏方案，强调高通量批量检测与全自动测量流程。可按通量与自动化需求选择。
单次测量可获取薄膜厚度、折射率 n、消光系数 k、表面粗糙度、薄膜不均匀性、反射率与透过率等参数；结合 DeltaPsi2 软件建模，还可分析界面特性、带隙与各向异性等深层信息，并一键式输出完整分析报告。
支持。Smart SE 入射角度可调，可用于多角度建模；同时支持在线实时监测，在线与离线配置可灵活切换，适配研发验证与产线监测等不同工况。
提供多种光斑尺寸规格，包括 75µm×150µm、100µm×250µm、150µm×250µm、100µm×500µm、250µm×250µm、250µm×500µm、500µm×500µm 等，可在软件中选择，适配不同样品尺寸与局部区域测量。
优尼康科技作为 HORIBA 椭偏仪中国区代理，提供样品测试与选型咨询。您可通过页面下方按钮在线咨询获取报价，或留言预约测样，专业工程师将协助您确认测量方案后再采购。
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不确定您的薄膜样品是否适合 Smart SE 测量？优尼康科技提供样品测试与选型咨询，专业工程师将协助您确认测量方案。
