UNICORN LS-1200 主动式防震台 | 0.5Hz超低频六自由度隔振 | 大型电镜专用免维护UNICORN LS-1200 主动式防震台
大型电子显微镜专用主动隔振系统 | 0.5Hz超低频隔振 | 六自由度主动控制 | 模块化超薄设计
LS-1200 是一款专为电子显微镜和大型精密仪器设计的主动式隔振系统。通过压电传感器实时监测环境振动，利用控制器生成反向作用力，从0.5Hz超低频开始主动抵消六个自由度的振动干扰。模块化超薄设计可直接嵌入SEM/TEM底部，无需起重设备即可安装。完美兼容蔡司、徕卡、日立、日本电子等主流品牌电镜，实验室理想隔振伙伴。
五大核心优势
L
超低频隔振
LFS低频传感器升级后隔振起点低至0.5Hz，完美覆盖环境振动、人员走动等低频干扰源。
六
六自由度主动控制
同时抵消X/Y/Z平移和旋转振动，无低频共振峰，瞬态响应极快。
定
单一电镜定制
根据每台电镜重量分布和安装位置专属设计，确保最佳隔振效果。
模
模块化免安装
超薄模块化设计，无需起重设备，基本不改变仪器整体轮廓。
免
长期免维护
无压缩空气、无机械磨损件，安装后无需定期校准，降低运维成本。
标准版 vs LFS低频升级版
LS-1200支持升级LFS（低频传感器）系统，隔振起点从1Hz降至0.5Hz，低频段隔振效率显著提升。
| 对比指标 | LS-1200 标准版 | LS-1200 + LFS 升级版 |
|---|
| 隔振起点 | 1 Hz | 0.5 Hz |
| 2.5Hz 隔振率 | 90% | 95% |
| 5Hz 隔振率 | 97% | 99% |
| 10Hz 隔振率 | 99% | 99.5% |
| 最大隔振率 | 99.8% (@70Hz) | 99.8% (@20Hz) |
核心技术特性
主动+被动全频段隔振主动系统针对0.5-200Hz低频振动精准补偿；被动系统吸收200Hz以上高频振动能量，全频段覆盖无死角。
无低频谐振峰内部反馈回路主动阻尼谐振，消除传统被动隔振台固有的低频共振峰，避免在特定频率下放大振动。
自适应前馈控制实时监测地基振动信号，自适应调节前馈补偿参数，适应不同楼层及环境的地基振动特征。
典型应用领域
扫描电子显微镜 (SEM)透射电子显微镜 (TEM)电子束光刻 (EBL)扫描隧道显微镜 (STM)超高真空SPM光刻设备光谱测量设备高精度计量设备
产品参数
| 参数项 | 规格 |
|---|
| 隔振方式 | 主动式（压电传感器+驱动器）+ 被动式 |
| 控制自由度 | 6自由度（X/Y/Z/横摇/纵摇/平摇） |
| 隔振起点（标准） | 1 Hz |
| 隔振起点（LFS） | 0.5 Hz |
| 最大隔振率 | 99.8% (@70Hz标准 / @20Hz LFS) |
| 谐振频率 | 无（主动阻尼消除） |
| 主动隔振范围 | 1 - 200 Hz |
| 被动隔振范围 | ≥ 200 Hz |
| 设计特点 | 模块化超薄设计、单一电镜定制、免维护、无压缩空气 |
| 更多参数请联系我们获取详细规格书 |
客户评价
“安装LS-1200后，场发射SEM在高倍成像时图像漂移现象彻底消失，分辨率显著提升。模块化设计半天完成安装，完全不需要改造实验室。
—— 某半导体晶圆厂 FA实验室
“大楼靠近主干道，低频振动困扰TEM使用。升级LFS系统后隔振起点降到0.5Hz，晶格分辨率测试达标。免维护特性非常省心。
—— 某高校材料学院 电镜中心
常见问题
LS-1200 适合哪些品牌型号的电子显微镜？
LS-1200采用为每台电镜单一专属定制的设计理念，广泛适配蔡司（ZEISS）、徕卡（Leica）、日立（Hitachi）、日本电子（JEOL）、赛默飞（Thermo Fisher/FEI）等主流品牌的全系列扫描电镜（SEM）和透射电镜（TEM）。请提供仪器型号咨询工程师获取适配方案。
为什么主动隔振比被动隔振效果更好？
被动隔振台（气浮、橡胶等）存在固有的低频共振峰，通常在1-5Hz范围内反而放大振动。LS-1200通过压电传感器和驱动器主动生成反向抵消力，无低频共振峰，从0.5Hz超低频起提供有效隔振，从根本上解决电镜图像漂移和分辨率下降问题。
安装 LS-1200 需要改造实验室吗？
通常不需要。LS-1200模块化超薄设计，直接放置于电镜原配支架下方或嵌入安装，多数SEM无需专用起重设备即可安装，基本不改变仪器轮廓，现场由专业工程师快速完成。
LFS 升级有什么好处？值得升级吗？
LFS升级将隔振起点降至0.5Hz，显著提升2.5Hz-10Hz低频段隔振效率（5Hz从97%升至99%）。若实验室位于低楼层、靠近交通干线或大型设备，低频振动严重，LFS升级能带来明显图像质量提升。现有设备可现场改造升级。
LS-1200 需要日常维护吗？
不需要。压电驱动技术，无压缩空气需求，无机油或橡胶等易损件。安装调试完成后长期免校准、免保养，极大降低实验室运维负担。
推荐产品组合
免费现场振动评估服务
Free On-site Vibration Assessment
不确定您的实验室环境是否满足电镜运行要求？我们提供免费现场振动测量与评估服务！专业工程师携带振动分析仪上门测量，量化环境振动水平，并提供针对性隔振解决方案。
UNICORN 官方数据 | 最终解释权归UNICORN所有，参数可能因升级调整
