UNICORN LS-400 主动式防震台
低频高效主动隔振系统 | 六自由度隔振 | 兼容主流SEM/TEM | 从0.5Hz起主动隔振

UNICORN LS-400 主动式防震台 主打低频高效隔振能力,最低可从0.5Hz起实现主动隔振,专为电子显微镜及各类大型精密科研仪器量身打造。设备完美兼容蔡司、徕卡、日立、日本电子等主流品牌电子显微镜,同时广泛应用于半导体生产设备、大型干涉仪、高精度电子天平。产品可有效抵消破坏性低频振动与环境噪声,保障仪器运行稳定,充分释放精密设备的检测与观测性能。
从0.5Hz起主动隔振,1-200Hz全段高效减振,解决建筑低频振动干扰难题。
全方位抑制多方向振动,覆盖水平、垂直及扭转干扰,隔振更彻底。
彻底消除被动防震台常见的低频共振峰,运行状态稳定无二次干扰。
主动模块专攻低频补偿,200Hz以上自动切换被动隔振,实现全频段隔振。
高精度压电传感器实时采集振动,驱动单元输出反向力动态抵消外部干扰。
不改变显微镜外观与结构轮廓,安装简便,无需定期维护。
全面兼容蔡司、徕卡、日立、日本电子等主流品牌电镜,支持定制适配。
LS-400依靠高精度传感器实时采集外界振动信号,同步传输至智能控制器进行运算分析。控制器依据振动波形,指令驱动单元输出反向作用力,动态抵消外部振动。产品融合主动控制与被动隔振双重技术,主动模块专攻低频振动补偿,被动模块吸收高频振动能量,实现全频段隔振。搭配六自由度控制算法,可自适应地基振动前馈,全方位阻断多维度振动传递。
| 产品型号 | LS-400 | 品牌 | UNICORN |
| 主动隔振频段 | 1 ~ 200Hz | 被动隔振频段 | >200Hz |
| 隔振起点 | 0.5Hz (主动) | 谐震频率 | 无 |
| 2Hz 隔振率 | 90% | 5Hz 隔振率 | 97% |
| 10Hz 隔振率 | 99% | 最大隔振率 | 99.8% @70Hz |
| 隔振自由度 | 六自由度 (水平/垂直/扭转) | ||
| 传感器类型 | 高性能压电传感器 | ||
| 控制方式 | 自适应反馈回路 + 前馈控制 | ||
| 安装方式 | 紧凑模块化,无需改变设备外观 | ||
| 更多定制参数及负载能力请咨询优尼康科技 | |||


“实验室位于地铁线附近,之前SEM图像在低频段总有抖动。加装LS-400后,2Hz振动衰减超过90%,图像质量明显改善,且安装后电镜外观完全不受影响。”
“LS-400的主动隔振性能出色,从0.5Hz就开始工作,我们蔡司电镜在高倍成像时的稳定性提升显著。六自由度隔振也有效抑制了来自空调系统的水平振动。”
全面兼容扫描电镜(SEM)、透射电镜(TEM)、聚焦离子束(FIB)、原子力显微镜(AFM)等,支持蔡司、徕卡、日立、日本电子等主流品牌,可定制适配。
主动防震通过传感器和驱动器实时产生反向力抵消低频振动(0.5-200Hz),无共振峰;被动防震依赖弹性材料吸收高频振动。LS-400融合两者,实现全频段隔振。
LS-400采用紧凑模块化设计,直接承载于设备底部,不改变显微镜外观与整体结构轮廓,无需打孔或改装,不影响设备原厂保修。
无需定期维护。产品采用高可靠性压电组件和固态控制电路,安装后即可长期稳定运行。
标准型号可承重400kg,可满足大部分电镜及大型设备需求;如需更高负载,可提供定制方案,请联系我们获取详细规格。
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