UNICORN LS-400 主动式防振台

UNICORN LS-400主动式防震台,专为电子显微镜及精密仪器设计。主动隔振频段1-200Hz,从0.5Hz起高效隔振,2Hz隔振率90%,10Hz达99%。兼容SEM/TEM,无低频共振,六自由度隔振。广泛用于蔡司、莱卡、日立、日本电子等品牌的大型电子显微镜隔振,以及半导体设备、大型干扰仪、电子天平精密设备隔振。

  • 产品名称: 主动式防震台
  • 品牌: UNICORN
  • 产品型号: 庐山系列 LS-400
  • 产地: 中国
UNICORN LS-400 主动式防震台 | 低频高效主动隔振系统

UNICORN LS-400 主动式防震台

低频高效主动隔振系统 | 六自由度隔振 | 兼容主流SEM/TEM | 从0.5Hz起主动隔振


UNICORN LS-400 主动式防震台

0.5Hz
主动隔振起点
90%
2Hz 隔振率
99%
10Hz 隔振率
99.8%
最大隔振率@70Hz
1~200Hz
主动隔振频段
产品介绍

UNICORN LS-400 主动式防震台 主打低频高效隔振能力,最低可从0.5Hz起实现主动隔振,专为电子显微镜及各类大型精密科研仪器量身打造。设备完美兼容蔡司、徕卡、日立、日本电子等主流品牌电子显微镜,同时广泛应用于半导体生产设备、大型干涉仪、高精度电子天平。产品可有效抵消破坏性低频振动与环境噪声,保障仪器运行稳定,充分释放精密设备的检测与观测性能。

核心优势
无低频共振,六自由度全方位隔振,内置高性能压电传感器与驱动组件,支持单台电子显微镜专属定制。
核心优势
超低频主动隔振

从0.5Hz起主动隔振,1-200Hz全段高效减振,解决建筑低频振动干扰难题。

六自由度隔离

全方位抑制多方向振动,覆盖水平、垂直及扭转干扰,隔振更彻底。

无低频共振

彻底消除被动防震台常见的低频共振峰,运行状态稳定无二次干扰。

主动+被动双重模式

主动模块专攻低频补偿,200Hz以上自动切换被动隔振,实现全频段隔振。

智能反馈控制

高精度压电传感器实时采集振动,驱动单元输出反向力动态抵消外部干扰。

紧凑模块化设计

不改变显微镜外观与结构轮廓,安装简便,无需定期维护。

适用设备与行业
扫描电子显微镜(SEM)
透射电子显微镜(TEM)
原子力显微镜(AFM/STM)
光刻设备
光谱测量设备
高精度计量/干涉仪
电子束曝光机(EBL)
超高真空SPM
半导体检测设备
高精度电子天平

全面兼容蔡司、徕卡、日立、日本电子等主流品牌电镜,支持定制适配。

测量原理

LS-400依靠高精度传感器实时采集外界振动信号,同步传输至智能控制器进行运算分析。控制器依据振动波形,指令驱动单元输出反向作用力,动态抵消外部振动。产品融合主动控制与被动隔振双重技术,主动模块专攻低频振动补偿,被动模块吸收高频振动能量,实现全频段隔振。搭配六自由度控制算法,可自适应地基振动前馈,全方位阻断多维度振动传递。

产品参数
产品型号LS-400品牌UNICORN
主动隔振频段1 ~ 200Hz被动隔振频段>200Hz
隔振起点0.5Hz (主动)谐震频率无
2Hz 隔振率90%5Hz 隔振率97%
10Hz 隔振率99%最大隔振率99.8% @70Hz
隔振自由度六自由度 (水平/垂直/扭转)
传感器类型高性能压电传感器
控制方式自适应反馈回路 + 前馈控制
安装方式紧凑模块化,无需改变设备外观
更多定制参数及负载能力请咨询优尼康科技
实机图展示
LS-400主动式防震台实机
LS-400安装实例
客户评价

“实验室位于地铁线附近,之前SEM图像在低频段总有抖动。加装LS-400后,2Hz振动衰减超过90%,图像质量明显改善,且安装后电镜外观完全不受影响。”

—— 某高校分析测试中心 电镜平台

“LS-400的主动隔振性能出色,从0.5Hz就开始工作,我们蔡司电镜在高倍成像时的稳定性提升显著。六自由度隔振也有效抑制了来自空调系统的水平振动。”

—— 半导体失效分析实验室 设备主管
常见问题
LS-400适合哪些类型的电子显微镜?+

全面兼容扫描电镜(SEM)、透射电镜(TEM)、聚焦离子束(FIB)、原子力显微镜(AFM)等,支持蔡司、徕卡、日立、日本电子等主流品牌,可定制适配。

主动防震与被动防震有什么区别?+

主动防震通过传感器和驱动器实时产生反向力抵消低频振动(0.5-200Hz),无共振峰;被动防震依赖弹性材料吸收高频振动。LS-400融合两者,实现全频段隔振。

安装是否会影响显微镜原有结构和保修?+

LS-400采用紧凑模块化设计,直接承载于设备底部,不改变显微镜外观与整体结构轮廓,无需打孔或改装,不影响设备原厂保修。

需要定期维护吗?+

无需定期维护。产品采用高可靠性压电组件和固态控制电路,安装后即可长期稳定运行。

LS-400的负载能力是多少?+

标准型号可承重400kg,可满足大部分电镜及大型设备需求;如需更高负载,可提供定制方案,请联系我们获取详细规格。

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