UNICORN LS-800 主动式防震台 | 电镜专用主动隔振系统UNICORN LS-800 主动式防震台
电子显微镜专用主动隔振系统 | 0.5Hz超低频隔振 | 六自由度主动控制 | 紧凑模块化设计
UNICORN LS-800 主动式防震台为电子显微镜和类似的大型研究仪器提供主动隔振性能(从0.5Hz开始)。通过抵消干扰测量的破坏性低频振动噪声,帮助用户从显微镜中获得更多信息。采用了超薄型和模块化设计,简化了安装过程,从而在安装时不需要专用的起重设备(适合绝大多数的SEM)。
产品特点
防震范围0.5Hz - 200Hz 主动隔振,≥200Hz 被动隔振
六自由度隔离隔离来自六个自由度的振动,全方位抑制干扰
无低频共振内部反馈回路阻尼谐振,消除传统被动隔振台的共振峰
压电传感驱动采用压电传感器与驱动器,实时响应,精准补偿
紧凑模块化设计超薄结构,安装方便,无需长期维护
单一电镜定制为每台电镜做专属定制,安装后基本不改变显微镜整体轮廓
测量原理
UNICORN LS-800主动式防震台通过传感器实时监测外部振动信号,并将数据传输至控制器。控制器根据振动波形生成反向作用力,由执行器施加与振动相位相反的力,实现动态抵消,大幅度抑制低频振动及复杂环境干扰。结合被动隔振与主动控制技术,被动系统吸收高频振动能量,主动系统针对低频振动进行准确补偿,实现全频段隔振。采用6自由度控制,自适应调节地基振动前馈,抵消多方向振动传递。
行业应用
LS-800主动式防震台广泛的应用于高负载显微镜和其他对低频振动噪声敏感的精密型研究仪器。最常见的应用是电子显微镜,支持扫描电子显微镜(SEM)和透射电子显微镜(TEM)。扁平化模块设计简化了安装过程,减少了持续维护的必要。
光刻设备光谱测量设备高精度计量设备TEMSEM超高真空扫描探针显微镜EBLSTM
产品参数
| 参数项 | 数值/描述 |
|---|
| 谐振频率 | None (无主动谐振峰) |
| 隔振起点 | 0.5 Hz |
| 隔振率 @2.5Hz | 90% |
| 隔振率 @5Hz | 97% |
| 隔振率 @10Hz | 99% |
| 最大隔振率 | 99.8% @70Hz |
| 主动隔振范围 | 0.5 - 200 Hz |
| 被动隔振范围 | ≥ 200 Hz |
| 控制自由度 | 6自由度 (X/Y/Z/横摇/纵摇/平摇) |
| 设计特点 | 模块化超薄设计、单一电镜定制、免维护、无压缩空气 |
| 更多参数请联系我们获取详细规格书 |
测量图
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