优尼康科技提供的KLA Profilm3D光学轮廓仪，基于白光干涉（WLI）技术，实现非接触式高精度3D表面形貌测量。垂直分辨率优于0.1nm，台阶高度测量范围从纳米级至毫米级，单次视场可达毫米级并支持自动拼接，可快速获取大区域表面形貌。系统提供表面粗糙度、台阶高度、划痕深度、薄膜厚度、面积体积等全参数分析，测量重复性高，支持自动化测量与数据导出。适用于半导体晶圆、MEMS器件、精密光学元件、摩擦学表面、薄膜涂层、生物医用器件及汽车工程等行业。优尼康科技提供专业技术支持。
优尼康科技提供的KLA Profilm3D光学轮廓仪，基于白光干涉（WLI）技术，实现非接触式高精度3D表面形貌测量。垂直分辨率优于0.1nm，台阶高度测量范围从纳米级至毫米级，单次视场可达毫米级并支持自动拼接，可快速获取大区域表面形貌。系统提供表面粗糙度、台阶高度、划痕深度、薄膜厚度、面积体积等全参数分析，测量重复性高，支持自动化测量与数据导出。适用于半导体晶圆、MEMS器件、精密光学元件、摩擦学表面、薄膜涂层、生物医用器件及汽车工程等行业。优尼康科技提供专业技术支持。
KLA Profilm3D 是一款3D白光干涉轮廓仪。KLA Profilm3D 光学轮廓仪使用垂直干涉扫描(WLI)技术与相位干涉(PSI)技术。以较低的价格实现次纳米级的表面形貌研究。采用白光干涉原理，不损伤样品。
视场范围：Profilm3D仅用10倍物镜就提供了达到2mm的视场范围，同时其最大4倍光学变焦的功能满足了不同应用时切换多个物镜的需求。这些都进一步降低了采购需求成本。
100mm自动XY样品台：每台Profilm3D光学轮廓仪都配备100mm自动XY样品台，4孔物镜转台和手动调平装置作为标准配置。
性价比高：以较低的价格实现次纳米级的表面形貌研究。
非接触式高精度测量：垂直分辨率可达亚纳米级（<1nm），适用于敏感材料（如软质聚合物、生物样本）的无损检测。
测量简单：Profilm3D光学轮廓仪软件能直观的反应包括表面粗糙度，形状和台阶高度的测量。在数秒内，您可以获得平面和曲面表面上测量所有常见的粗糙度参数。也可以选择拼接功能软件升级来组合多个影像以提供大面积测量。
KLA Profilm3D 光学轮廓仪采用白光作为光源，通过分光镜将光束分为两路：一路照射被测样品表面，另一路投射至参考镜表面，两束反射光在CCD相机上形成干涉条纹。样品表面的微小高度差导致光程差变化，通过分析干涉条纹的明暗分布及位置偏移，计算表面各点的相对高度，生成三维形貌数据。
台阶高度 | 纹理 |
外形 | 应力 |
薄膜厚度 | 缺陷检测 |
厚度范围（WLI） | 50nm-10mm | 厚度范围(PSI) | 0-3µm |
RMS重复性(WLI）: | 1.0nm | RMS重复性(PSI）: | 0.1nm |
台阶高度准确度： | 0.7% | 台阶高度精确度： | 0.1% |
样品反射率范围： | 0.05%-100% | ISO25178兼容： | 是 |
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