UNICORN UT-1000A 主动减震系统

HERZ UT-1000A主动式减振系统专为电子显微镜等大型研究仪器设计,压电传感器+换能器技术,主动隔振1~200Hz(LFS选件0.5Hz起),被动隔振≥200Hz,6自由度隔振,10Hz以上传输率<-35dB。超薄模块化设计,4模块可支撑3500kg,无需气压,1小时安装。适用于TEM、SEM、UHV-SPM、光刻设备等。优尼康科技提供技术支持与安装服务,欢迎在线咨询。

  • 产品名称 主动式防震系统
  • 品牌 UNICORN
  • 产品型号 UT-1000A
  • 产地 中国

UNICORN UT-1000A 主动式减震系统

专为大型研究仪器设计 | 压电传感器+换能器 | 1~200Hz主动隔振 | 4模块支撑3500kg | 超薄模块化


UNICORN UT-1000A 主动式减震系统产品外观

1~200Hz
主动隔振范围
≥200Hz
被动隔振
6自由度
隔振控制
3500kg
最大承载(4模块)
产品介绍

UNICORN UT-1000A主动式减振系统专为电子显微镜等大型研究仪器设计,采用压电传感器与压电换能器技术,主动隔振范围1~200Hz(搭配LFS低频稳定器可延伸至0.5Hz),被动隔振≥200Hz,可隔离六个空间方向的振动干扰。系统采用超薄模块化设计,无低频共振、无需气压支持,四个减振模块即可支撑重达3500kg的FEI Titan TEM等大型设备。

UT-1000A平台的模块化设计使安装过程极为简便,安装后基本不改变显微镜整体轮廓,无需专用起重设备,1小时内即可完成安装。内部反馈回路可有效抑制所有机械共振,10Hz以上传输率低于-35dB,为用户提供卓越的低频隔振性能。平台支持为每台电镜做单一定制,确保最佳隔振效果。

品牌保障
UNICORN UT-1000A是优尼康科技旗下专为大型研究仪器设计的主动式减振系统,在TEM、SEM等高端电镜领域被广泛采用。其超薄模块化设计可支撑重达3500kg的设备,是FEI Titan TEM等大型电镜的理想隔振方案。优尼康科技提供产品销售、技术支持与现场安装服务。
核心优势
专属大型设备设计

专为电子显微镜等大型研究仪器设计,4个减振模块即可支撑重达3500kg的FEI Titan TEM。超薄模块化设计,安装后不改变仪器整体轮廓。

宽频段主动隔振

主动隔振范围1~200Hz,被动隔振≥200Hz,6自由度全方位隔振。搭配LFS低频稳定器可将主动隔振延伸至0.5Hz,满足超低频隔振需求。

压电传感器技术

采用高精度压电传感器和压电驱动器,实时探测振动并生成反向补偿力。内部反馈回路有效抑制所有机械共振,10Hz以上传输率低于-35dB。

超薄模块化设计

超薄紧凑模块化设计,安装极为简便。无需专用起重设备和索具系统,1小时内即可完成安装。模块化结构支持灵活配置,适应不同尺寸和重量的设备。

无需气压支持

全电气主动隔振设计,无需压缩空气,无低频共振问题。安装方便、无需持久维护,显著降低使用门槛和维护成本。

单一定制服务

支持为每台电镜做单一定制,确保隔振方案与设备完美匹配。优尼康科技提供专业技术支持与现场安装服务,保障最佳使用效果。

典型应用领域
透射电镜(TEM)
扫描电镜(SEM)
UHV-SPM
光刻设备
高精度计量设备
光谱测量设备
大型研究仪器
FEI Titan TEM
产品参数
产品型号UNICORN UT-1000A品牌UNICORN
主动隔振范围1~200Hz(LFS选件0.5Hz起)被动隔振≥200Hz
隔振自由度6自由度传输率>10Hz < -35dB
传感器类型压电加速度传感器驱动器类型压电换能器
最大承载4模块支撑3500kg模块设计超薄模块化,可定制
低频共振气压需求无需气压支持
安装时间约1小时适用设备TEM/SEM/UHV-SPM等
有任何选型疑问或设备隔振需求?在线联系我们,专业工程师一对一协助选型
产品应用详解
TEM透射电镜隔振

透射电子显微镜对低频振动极为敏感,环境振动直接影响原子级成像分辨率。UT-1000A可支撑重达3500kg的大型TEM设备(如FEI Titan),4模块即可提供稳定隔振,消除低频振动噪声对成像的干扰。

SEM扫描电镜隔振

扫描电子显微镜多种尺寸和形状,UT-1000A平台无需专业吊装设备即可安装。仅需将SEM内部调平脚升高至足够高度,即可将防振模块放置在下方,1小时内完成安装,成像质量显著提升。

UHV-SPM超高真空隔振

超高真空扫描探针显微镜在原子级表面分析中对振动环境要求严苛。UT-1000A的6自由度主动隔振和内部反馈回路为SPM提供极致稳定的扫描平台。

光刻/计量设备隔振

光刻设备和高精度计量设备对纳米级定位精度要求极高。UT-1000A从0.5Hz开始的主动隔振能力可有效消除环境低频振动,保障设备加工和测量精度。

应用案例
FEI Titan TEM 安装UT-1000A案例
FEI Titan TEM

3500kg大型TEM,4个UT-1000A模块支撑,有效消除低频振动噪声干扰

FEI QEMSCAN 650 SEM 安装UT-1000A案例
FEI QEMSCAN 650 SEM

扫描电镜安装UT-1000A平台,无需专用吊装设备,安装后成像质量显著提升

Carl Zeiss SIGMA VP SEM 安装UT-1000A案例
Carl Zeiss SIGMA VP SEM

UT-1000A平台1小时内完成安装,内部框架易于使用,无需起重设备

UNICORN UT-1000A 适用于UHV-SPM/光刻设备/计量设备
UHV-SPM / 光刻 / 计量设备

UT-1000A广泛适用于超高真空SPM、光刻设备、高精度计量及光谱测量等大型研究仪器

客户评价

"实验室的FEI Titan TEM一直受低频振动噪声困扰,安装UT-1000A后成像质量明显提升。4个模块支撑3500kg设备非常稳定,安装过程仅用了不到1小时,非常高效。"

—— 材料科学实验室 电镜负责人

"SEM安装UT-1000A后,高频成像的清晰度和稳定性都有显著改善。模块化设计非常灵活,不需要专用起重设备,售后服务也很专业。"

—— 半导体检测实验室 工程师
常见问答
UT-1000A的隔振范围和承载能力?+

主动隔振1~200Hz,LFS选件可延伸至0.5Hz;被动隔振≥200Hz。4个模块可支撑3500kg设备(如FEI Titan TEM),6自由度隔振,10Hz以上传输率<-35dB。内部反馈回路抑制所有机械共振。

安装需要专用设备吗?多长时间?+

无需专用起重设备或索具系统。仅需将仪器内部调平脚升高至足够高度(约5英寸),即可将防振模块放置在下方。1小时内即可完成安装,安装后不改变仪器整体轮廓。

需要压缩空气吗?+

无需气压支持。采用压电传感器和压电换能器技术,全电气主动隔振,无低频共振。安装方便,无需持久维护,大大降低使用门槛。

适用于哪些大型设备?+

广泛应用于扫描电镜(SEM)、透射电镜(TEM)、超高真空扫描探针显微镜(UHV-SPM)、光刻设备、高精度计量设备及光谱测量设备等大型研究仪器。支持为每台设备做单一定制。

和HERZ AVI-200/AVI-400有什么区别?+

UT-1000A专为大型设备设计,超薄模块化,4模块可支撑3500kg,适合TEM等大型电镜。AVI-200/400属于紧凑型主动减振模块,适合中小型精密设备。两者均采用UNICORN压电主动隔振技术,可根据设备尺寸和重量选择对应型号。

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标签: HERZ 减震台

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