UNICORN UT-1000A 主动式减震系统
专为大型研究仪器设计 | 压电传感器+换能器 | 1~200Hz主动隔振 | 4模块支撑3500kg | 超薄模块化

产品介绍
UNICORN UT-1000A主动式减振系统专为电子显微镜等大型研究仪器设计,采用压电传感器与压电换能器技术,主动隔振范围1~200Hz(搭配LFS低频稳定器可延伸至0.5Hz),被动隔振≥200Hz,可隔离六个空间方向的振动干扰。系统采用超薄模块化设计,无低频共振、无需气压支持,四个减振模块即可支撑重达3500kg的FEI Titan TEM等大型设备。
UT-1000A平台的模块化设计使安装过程极为简便,安装后基本不改变显微镜整体轮廓,无需专用起重设备,1小时内即可完成安装。内部反馈回路可有效抑制所有机械共振,10Hz以上传输率低于-35dB,为用户提供卓越的低频隔振性能。平台支持为每台电镜做单一定制,确保最佳隔振效果。
品牌保障UNICORN UT-1000A是优尼康科技旗下专为大型研究仪器设计的主动式减振系统,在TEM、SEM等高端电镜领域被广泛采用。其超薄模块化设计可支撑重达3500kg的设备,是FEI Titan TEM等大型电镜的理想隔振方案。优尼康科技提供产品销售、技术支持与现场安装服务。
核心优势
专属大型设备设计专为电子显微镜等大型研究仪器设计,4个减振模块即可支撑重达3500kg的FEI Titan TEM。超薄模块化设计,安装后不改变仪器整体轮廓。
宽频段主动隔振主动隔振范围1~200Hz,被动隔振≥200Hz,6自由度全方位隔振。搭配LFS低频稳定器可将主动隔振延伸至0.5Hz,满足超低频隔振需求。
压电传感器技术采用高精度压电传感器和压电驱动器,实时探测振动并生成反向补偿力。内部反馈回路有效抑制所有机械共振,10Hz以上传输率低于-35dB。
超薄模块化设计超薄紧凑模块化设计,安装极为简便。无需专用起重设备和索具系统,1小时内即可完成安装。模块化结构支持灵活配置,适应不同尺寸和重量的设备。
无需气压支持全电气主动隔振设计,无需压缩空气,无低频共振问题。安装方便、无需持久维护,显著降低使用门槛和维护成本。
单一定制服务支持为每台电镜做单一定制,确保隔振方案与设备完美匹配。优尼康科技提供专业技术支持与现场安装服务,保障最佳使用效果。
典型应用领域
透射电镜(TEM)
扫描电镜(SEM)
UHV-SPM
光刻设备
高精度计量设备
光谱测量设备
大型研究仪器
FEI Titan TEM
产品参数
| 产品型号 | UNICORN UT-1000A | 品牌 | UNICORN |
| 主动隔振范围 | 1~200Hz(LFS选件0.5Hz起) | 被动隔振 | ≥200Hz |
| 隔振自由度 | 6自由度 | 传输率 | >10Hz < -35dB |
| 传感器类型 | 压电加速度传感器 | 驱动器类型 | 压电换能器 |
| 最大承载 | 4模块支撑3500kg | 模块设计 | 超薄模块化,可定制 |
| 低频共振 | 无 | 气压需求 | 无需气压支持 |
| 安装时间 | 约1小时 | 适用设备 | TEM/SEM/UHV-SPM等 |
| 有任何选型疑问或设备隔振需求?在线联系我们,专业工程师一对一协助选型 |
产品应用详解
TEM透射电镜隔振透射电子显微镜对低频振动极为敏感,环境振动直接影响原子级成像分辨率。UT-1000A可支撑重达3500kg的大型TEM设备(如FEI Titan),4模块即可提供稳定隔振,消除低频振动噪声对成像的干扰。
SEM扫描电镜隔振扫描电子显微镜多种尺寸和形状,UT-1000A平台无需专业吊装设备即可安装。仅需将SEM内部调平脚升高至足够高度,即可将防振模块放置在下方,1小时内完成安装,成像质量显著提升。
UHV-SPM超高真空隔振超高真空扫描探针显微镜在原子级表面分析中对振动环境要求严苛。UT-1000A的6自由度主动隔振和内部反馈回路为SPM提供极致稳定的扫描平台。
光刻/计量设备隔振光刻设备和高精度计量设备对纳米级定位精度要求极高。UT-1000A从0.5Hz开始的主动隔振能力可有效消除环境低频振动,保障设备加工和测量精度。
应用案例
FEI Titan TEM3500kg大型TEM,4个UT-1000A模块支撑,有效消除低频振动噪声干扰
FEI QEMSCAN 650 SEM扫描电镜安装UT-1000A平台,无需专用吊装设备,安装后成像质量显著提升
Carl Zeiss SIGMA VP SEMUT-1000A平台1小时内完成安装,内部框架易于使用,无需起重设备
UHV-SPM / 光刻 / 计量设备UT-1000A广泛适用于超高真空SPM、光刻设备、高精度计量及光谱测量等大型研究仪器
客户评价
"实验室的FEI Titan TEM一直受低频振动噪声困扰,安装UT-1000A后成像质量明显提升。4个模块支撑3500kg设备非常稳定,安装过程仅用了不到1小时,非常高效。"
—— 材料科学实验室 电镜负责人
"SEM安装UT-1000A后,高频成像的清晰度和稳定性都有显著改善。模块化设计非常灵活,不需要专用起重设备,售后服务也很专业。"
—— 半导体检测实验室 工程师
常见问答
UT-1000A的隔振范围和承载能力?+
主动隔振1~200Hz,LFS选件可延伸至0.5Hz;被动隔振≥200Hz。4个模块可支撑3500kg设备(如FEI Titan TEM),6自由度隔振,10Hz以上传输率<-35dB。内部反馈回路抑制所有机械共振。
安装需要专用设备吗?多长时间?+
无需专用起重设备或索具系统。仅需将仪器内部调平脚升高至足够高度(约5英寸),即可将防振模块放置在下方。1小时内即可完成安装,安装后不改变仪器整体轮廓。
需要压缩空气吗?+
无需气压支持。采用压电传感器和压电换能器技术,全电气主动隔振,无低频共振。安装方便,无需持久维护,大大降低使用门槛。
适用于哪些大型设备?+
广泛应用于扫描电镜(SEM)、透射电镜(TEM)、超高真空扫描探针显微镜(UHV-SPM)、光刻设备、高精度计量设备及光谱测量设备等大型研究仪器。支持为每台设备做单一定制。
和HERZ AVI-200/AVI-400有什么区别?+
UT-1000A专为大型设备设计,超薄模块化,4模块可支撑3500kg,适合TEM等大型电镜。AVI-200/400属于紧凑型主动减振模块,适合中小型精密设备。两者均采用UNICORN压电主动隔振技术,可根据设备尺寸和重量选择对应型号。
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