REF-SS3-Si硅参考片适用于哪些系统？

专用于搭载SS3反射探头的Filmetrics F20薄膜厚度测量系统。不适用于其他探头或F系列机型。

参考片需要定期更换吗？

高纯度硅片性能稳定，在妥善保管下可长期使用。若表面出现污染或划痕，建议更换以确保参考光谱的准确性。

REF-SS3-Si是原装正品吗？

是Filmetrics认证原装参考片，优尼康科技官方供应，确保反射率基准的可靠性和稳定性。

REF-SS3-Si 硅参考片

优尼康科技提供REF-SS3-Si专用硅参考片，专为Filmetrics F20膜厚仪设计。用于薄膜厚度测量的精度验证、系统校准与日常偏移监控。厚度值可溯源至NIST标准，提供稳定的SiO₂/Si结构参考，适用于半导体、光刻胶、光学薄膜等领域的设备校验。

产品名称： REF-SS3-Si 硅参考片

品牌： Filmetrics

产品型号： TS-SS3-SiO2-8000

产地：美国

SS3专用

SKU: REF-SS3-Si现货供应

REF-SS3-Si 硅参考片SS3探头专用 | 反射率参考 | 仅适用于F20

Name: REF-SS3-Si SS3专用硅参考片
Brand: Filmetrics
SKU: REF-SS3-Si
Availability: InStock

F20搭配SS3反射探头专用的硅参考片，用于建立100%反射率基线。与厚度标准片不同，参考片不含特定厚度，仅提供稳定反射率参考。原装正品。

类型参考片材料硅(Si)适用 F20 + SS3

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产品亮点

SS3探头专用 — 专为F20搭配SS3反射探头设计，确保光学匹配
高纯度硅材质 — 提供稳定的反射率参考值，光谱平坦
快速建立基线 — 采集参考光谱后，系统可自动计算样品反射率
操作简便 — 直接放置于SS3探头下方，即测即用
原装正品 — Filmetrics认证，确保参考基线的可靠性
维护必备 — 每次测量前使用参考片校准基线，保证数据准确

适用场景

反射率基线采集 — 测量样品前，使用参考片建立100%反射率基准
SS3探头性能验证 — 定期检查探头反射信号的一致性
设备安装调试 — 新安装F20/SS3时作为参考标准
日常维护 — 更换参考片以确保长期测量稳定性
质量体系合规 — 提供可追溯的反射率参考，满足校准要求

技术规格参数

产品型号	REF-SS3-Si
类型	参考片（Reference）
材料	硅（单晶硅片）
用途	建立反射率参考基线
适用探头	SS3反射探头
兼容系统	F20 (搭配SS3探头)

⚠️请注意： REF-SS3-Si 是参考片，用于建立反射率基线，不是厚度标准片。如需厚度校准，请选用TS-SS3-SiO2-8000标准片。该参考片仅适用于F20+SS3配置。保持表面清洁，避免划伤。如有疑问，联系技术支持。

适用产品一览

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F20通用型膜厚仪（需搭配SS3探头）查看详情

F20搭配SS3反射探头时，使用REF-SS3-Si建立反射率参考基线。

常见问题

REF-SS3-Si适用于哪些系统？ ▼

专用于搭载SS3反射探头的F20膜厚仪。不适用于其他探头或F系列机型。

参考片与标准片有什么区别？ ▼

参考片用于建立100%反射率基线，不含厚度信息。标准片具有已知厚度，用于厚度校准。两者功能不同，请勿混淆。

如何使用硅参考片？ ▼

将参考片放在SS3探头下，采集参考光谱。随后测量样品时，软件会自动扣除参考基线，得到准确的反射率。

参考片需要更换吗？ ▼

硅片性能稳定，妥善保管可长期使用。若出现污染或划痕影响参考光谱，建议更换新片。

是原装正品吗？ ▼

Filmetrics认证原装参考片，优尼康科技官方供应，确保反射率基线的准确与稳定。

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REF-SS3-Si 硅参考片

REF-SS3-Si 硅参考片SS3探头专用 | 反射率参考 | 仅适用于F20

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