HERZ TS-150 桌上型主动式隔振台
主动隔振约 0.7-100Hz，100Hz 以上被动隔振，六自由度三轴主动控制，负载范围 0-150kg，高 78mm、重约 18kg
高 78mm 的桌上型主动隔振台，在既有实验台上加装即可改善低频振动环境
HERZ TS-150 桌上型主动式隔振台来自日本 HERZ。HERZ 是瑞士 Table Stable Ltd. 主动隔振系统的销售方，TS 系列即在此基础上面向实验室场景的桌上型产品。
TS-150 针对低频振动做补偿，实现全频段隔振，并自适应调节地基振动前馈，抵消多方向的振动传递。主动隔振频率约 0.7-100Hz，100Hz 以上转为被动隔振；系统不存在低频共振，性能优于常见的被动空气阻尼方案。TS 系统的固有刚度带来良好的方向与位置稳定性，覆盖全部六种平移与旋转振动模式。
使用方式分两步：打开电源开关，系统自动完成高度调节，随后开启隔振功能。全过程自动进行，不需要手动调节。TS-150 外形尺寸 400 × 450 × 78mm，系统重量约 18kg，便于在既有实验台上加装。
外形尺寸 400 × 450 × 78mm，系统重量约 18kg，高 78mm，可直接放在既有实验台上使用，不需要改造台面结构。
主动隔振频率约 0.7-100Hz，100Hz 以上转为被动隔振。主动部分覆盖低频段，被动部分吸收高频残余振动。
三轴主动隔振配合六自由度控制，覆盖平移与旋转振动模式，自适应地基振动前馈，抵消多方向的振动传递。
不依赖弹性元件的固有频率，不存在被动空气阻尼方案常见的低频共振问题，运行状态稳定。
开机后自动完成高度调节，搬运或运输时自动锁定，减少误操作对隔振性能的影响。
前面板显示屏可观察振动情况，背部 BNC 接口可接示波器观察八轴振动状态，用于诊断与效果确认。
TS-150 面向桌面级精密仪器，以下为常见应用方向。
| 应用行业 | 隔振场景 | 典型对象 |
|---|---|---|
| 桌面显微 | 桌面型扫描电镜与显微镜对低频振动敏感，TS-150 可在既有台面上加装，降低地面传导振动对成像的影响。 | Mini SEM、显微镜 |
| 探针显微 | AFM 的纳米级成像对微小振动敏感，六自由度三轴主动隔振为扫描过程提供稳定平台。 | AFM |
| 表面测量 | 三轴轮廓仪、白光干涉仪对测量基准稳定性要求高，主动隔振有助于提升测量重复性。 | 轮廓仪、白光干涉仪 |
| 材料与医疗 | 液体表面张力测量仪、显微硬度测量仪与医疗检测设备同样受益于低频隔振，安装后不需要改造原有台面。 | 表面张力仪、显微硬度仪、医疗检测设备 |
TS 系列以台面尺寸与负载区分型号，按仪器底面积与重量选择；负载通常不是均匀分布，建议实际负载不超过额定负载的 80%。
| 型号 | 安装面板尺寸 | 外形尺寸（约） | 负载重量 | 系统重量（约） |
|---|---|---|---|---|
| TS-140/LP | 500 × 600 mm | 500 × 600 × 84 mm | 140 kg | 29 kg |
| TS-150/LP | 400 × 450 mm | 400 × 450 × 78 mm | 150 kg | 18 kg |
| TS-300/LP | 600 × 800 mm | 600 × 800 × 121 mm | 300 kg | 60 kg |
| TS-300/LT/LP | 600 × 800 mm | 600 × 800 × 121 mm | 120 kg | 60 kg |
TS-150 通过传感器实时监测外部振动信号，并将数据传输至控制器。控制器根据振动波形生成反向作用力，由执行器施加与振动相位相反的力，动态抵消低频振动与环境干扰。
系统结合被动隔振与主动控制：被动部分吸收高频振动能量，主动部分针对低频振动做补偿，从而实现全频段隔振。系统采用六自由度控制，自适应调节振动前馈，抵消多方向的振动传递。
数据显示，TS-150/LP 在 1-100Hz 范围内具备良好的隔振能力。透射率在 10Hz 以上小于 0.01（-40dB），传递率曲线覆盖空间六个自由度的全部振动模式，可作为仪器与 TS-150 配套时的性能参考。
主动隔振系统的传递率会随支撑面的振动状态变化，上述曲线仅供参考。在无隔振与开启主动隔振两种条件下对同一精密仪器取像，开启后图像质量与测量清晰度有改善。
| 参数 | 规格 |
|---|---|
| 主动隔振频率 | 约 0.7-100Hz；100Hz 以上为被动隔振 |
| 隔振方向 | 六个自由度的三轴主动隔振 |
| 透射率 | 10Hz 以上小于 0.01（-40dB） |
| 负载范围 | 0-150 kg |
| 校正力 | 垂直 ±8 N；水平 ±4 N |
| 静态顺应性 | 垂直约 12 μm/N；水平约 30-40 μm/N |
| 安装面板尺寸 | 400 × 450 mm |
| 系统尺寸 | 400 × 450 × 78 mm |
| 系统重量 | 约 18 kg |
| 安全等级 | 1 级 |
| 功耗 | 10 W（负载调节期间 20 W） |
| 输入电压 | 115-230 VAC ±10%，50-60 Hz |
| 过载提示 | 负载过重或严重失衡时，显示屏给出提示 |
| 前面板显示菜单 | 高度调节、隔离开关、过载提示、运输锁定、技术热线 |
| 台面材质 | 阻尼铝夹层结构；可选 M6 螺纹孔（25mm 间距）或定制规格 |
| 适用温度 | 5-40 ℃ |
| 适用湿度 | 10-90%（5-30 ℃）；10-60%（30-40 ℃） |
| 工作环境高度 | 海拔 2000 m |
以上参数依据官方 TS 系列文档与 TS-150 规格资料整理。负载通常并非均匀分布，建议实际负载不超过额定负载的 80%。
TS-150 可与多种附件组合，扩展适用性并提升使用便利性。
410 不锈钢表面材质，不镀漆；M6 螺纹孔按 25mm 间距阵列排布，安装孔深 6mm。
在外部切换隔振功能的开启与关闭。
用于平台或地面不够稳固的场合，抑制性能衰减与振动放大。支架可按需求定制。
为仪器提供 3-10Hz 的低频隔音。该频段低于人耳识别范围，但对精密仪器影响明显。
选配激振器盒、函数发生器与 BNC 线缆后，TS 系列亦可作为激振器使用。
台面可选 M6 螺纹孔（25mm 间距）阵列，或按设备底盘定制。
优尼康科技提供 TS-150 的选型咨询、安装培训与售后技术支持，同时提供主动式减振、被动式减振与主动式消磁的实验室环境改善方案。
需要确认设备与 TS-150 的适配性时，可提供设备重量、底面积与重心位置，由工程师协助确认型号与台面配置。
我们把这台 AFM 放在二楼，楼下有人走动时图像就有影响。换成 TS-150 之后低频抖动明显减少，台子只有 78mm 高，原来的台面不用改造。
桌面型扫描电镜对振动比较敏感，TS-150 安装后成像稳定了不少。开机自动调高度，不需要每次手动校准，日常使用很方便。
主动隔振频率约 0.7-100Hz，100Hz 以上转为被动隔振。系统采用六自由度三轴主动隔振，10Hz 以上透射率小于 0.01（-40dB），不存在低频共振。
TS-150 是桌上型产品，尺寸 400 × 450 × 78mm、重约 18kg，负载 0-150kg，适合桌面级仪器在既有实验台上加装；AVI 系列是落地式模块化系统，承载能力更高，适合电镜等大型设备。
TS-150 负载范围 0-150kg。负载通常不是均匀分布，建议实际负载不超过额定负载的 80%。提供设备重量与底面积后可协助确认适配性。
不需要改造实验台。TS-150 直接放在既有台面上，开机后自动完成高度调节，随后开启隔振功能。搬运或运输时系统自动锁定。
不需要。TS 系统为主动隔振，不依赖气浮组件，也不存在被动空气阻尼方案的低频共振问题。
前面板显示屏可观察振动情况，背部 BNC 接口可连接示波器观察八轴振动状态，用于安装后的效果确认与诊断。
要确认仪器与 TS-150 的适配性？
提供设备重量、底面积与重心位置，优尼康科技可协助确认型号与台面配置，也可以安排现场振动测量。
