KURATECA EST-L 主动式防震台

KURATECA EST-L 主动式防震台来自日本马自达集团下全资子公司KURATECA,有着超过30年历史,且在这个领域上有着相当丰富的经验。一些灵敏度很高的仪器可能是一个自然谐振频率的被动系统,只有主动隔振系统才能抵消共振。KURATECA通过在发展主动防震系统的同时补充了被动系统,主动防震系统可为灵敏的仪器提供各种抵消振动干扰的需求,主动式防震系统(AVI)能够为科研、工程和生产过程所需要的精密仪器提供一个稳定的测量环境。

  • 产品名称: 主动式防震台
  • 品牌: KURATECA
  • 产品型号: EST-L
  • 产地: 日本


KURATECA EST-L 主动式防震台



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KURATECA EST-L 主动式防震台产品介绍:

KURATECA EST-L 主动式防震台来自日本马自达集团下全资子公司KURATECA,有着超过30年历史,且在这个领域上有着相当丰富的经验。一些灵敏度很高的仪器可能是一个自然谐振频率的被动系统,只有主动隔振系统才能抵消共振。KURATECA通过在发展主动防震系统的同时补充了被动系统,主动防震系统可为灵敏的仪器提供各种抵消振动干扰的需求,主动式防震系统(AVI)能够为科研、工程和生产过程所需要的精密仪器提供一个稳定的测量环境。



KURATECA EST-L 主动式防震台产品特点:

  • 优于被动系统

  • 模块可扩展

  • 不影响精密仪器

  • 无低频共振

  • 无电磁干扰

  • 尺寸小

  • 震动恢复时间迅速(<10ms

  • 不会升温

  • 低功耗

  • 无需设置时间

  • 无需校准

  • 可个性化定制



KURATECA EST-L 主动式防震台测量原理:

KURATECA EST-L 主动式防震台通过传感器实时监测外部振动信号,并将数据传输至控制器。控制器根据振动波形生成反向作用力,由执行器施加与振动相位相反的力,实现动态抵消,抑制低频振动及复杂环境干扰。结合被动隔振与主动控制技术,被动系统吸收高频振动能量,主动系统针对低频振动进行准确补偿,实现全频段隔振。采用6自由度控制,自适应调节地基振动前馈,抵消多方向振动传递。



KURATECA EST-L 主动式防震台行业应用:

KURATECA EST-L 主动式防震台广泛的应用于高负载显微镜和其他受低频振动噪声影响的精密型研究仪器。KURATECA EST-L 主动式防震台比较常见的应用是电子显微镜,它支持扫描电子显微镜和透射电子显微镜。

光刻设备

光谱测量设备

高精度计量设备

TEM

SEM

超高真空扫描探针显微镜

EBL

STM



KURATECA EST-L 主动式防震台产品参数:

主动控制范围:

0.5Hz–200Hz

被动控制范围:

大于200Hz

控制器类型:

数字显示控制器

系统配置:

隔振模块和控制器

静息时间:

不大于0.3s

尺寸大小:

200*200*176mm

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KURATECA EST-L 主动式防震台测试图:

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