Filmetrics F20 白光干涉膜厚测量仪
Filmetrics F20 白光干涉膜厚测量仪产品介绍:
无论您是想要知道薄膜厚度、光学常数,还是想要知道材料的反射率和透过率,Filmetrics F20 膜白光干涉仪厚仪都能满足您的需要。仅需花费几分钟完成安装,通过USB连接电脑,设备就可以在数秒内得到测量结果。基于模块化设计的特点,Filmetrics F20 白光干涉仪测厚仪适用于各种应用。
Filmetrics F20 白光干涉膜厚测量仪产品特点:
非接触测量:避免损伤薄膜,适用于脆弱或敏感材料;
高精度与宽量程&:垂直分辨率达纳米级,可测厚度范围从1nm至3mm;
多场景适用性:基本上光滑的、半透明的或低吸收系数的薄膜都可以测量。
测量速度快:配置完成后,数秒内即可完成测量。
Filmetrics F20 白光干涉膜厚测量仪测量原理:
当入射光穿透不同物质的界面时将会有部分的光被反射,由于光的波动性导致从多个界面的反射光彼此干涉,从而使反射光的多波长光谱产生震荡的现象。从光谱的震荡频率,可以判断不同界面的距离进而得到材料的厚度(越多的震荡代表越大的厚度),同时也能得到其他的材料特性如折射率与粗糙度。
Filmetrics F20 白光干涉膜厚测量仪膜层范例:
薄膜特性:厚度、反射率、透射率、光学常数、均匀性、刻蚀量等
薄膜种类:透明及半透明薄膜,常见如氧化物、聚合物甚至空气
薄膜状态:固态、液态和气态薄膜都可以测量
薄膜结构:单层膜、多层膜;平面、曲面
Filmetrics F20 白光干涉膜厚测量仪常见工业应用:
半导体膜层 | 显示技术 | 消费电子 | 派瑞林 |
光刻胶 | OLED | 防水涂层 | 电子产品/电路板 |
介电层 | ITO和TCOs | 射频识别 | 磁性材料 |
砷化镓 | 空气盒厚 | 太阳能电池 | 医学器械 |
微机电系统 | PVD和CVD | 铝制外壳阳极膜 | 硅橡胶 |
Filmetrics F20 白光干涉膜厚测量仪产品参数:
波长范围: | 380-1050nm | 光源: | 卤素灯 |
厚度测量范围: | 15nm-70um | 测量精度: | 0.02nm |
光斑大小: | 1.5mm | 样品台尺寸: | 1mm-300mm |
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