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优尼康：膜厚测量技术在微电子化工品行业的应用
依靠F50光谱测量系统，可以获得最大直径450毫米的样品薄膜的厚度分布图。采用r-θ极坐标移动平台，可以定位所需测试的点并测试厚度，测试非常快，大约每秒能测试两点。用户可以自己绘制需要的点位地图。F50系统配置高精度使用寿命长的移动平台，能够做成千上万次测量。
2023-06-12 李扬
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依靠F50光谱测量系统，可以获得最大直径450毫米的样品薄膜的厚度分布图。采用r-θ极坐标移动平台，可以定位所需测试的点并测试厚度，测试非常快，大约每秒能测试两点。用户可以自己绘制需要的点位地图。F50系统配置高精度使用寿命长的移动平台，能够做成千上万次测量。
2023-06-12 李扬