HERZ AVI-400系列 主动式减震系统

优尼康科技提供的HERZ AVI-400系列主动式减振台,采用“主动+被动”双模式隔振技术,主动隔振范围0.7Hz200Hz,被动隔振范围>200Hz,可隔离六个空间方向的振动干扰。系统内置压电加速度传感器与音圈马达,实时探测传入振动并生成反向补偿力,520毫秒内完成响应,10Hz以上传输率低于0.01(-40dB),无低频共振、无需气压支持。模块化设计支持自由扩展,负载能力最高可达800kg以上,桌面尺寸和隔振模块数量均可按需配置。LCD显示屏实时监控振动状态,即插即用,安装简便。适用于扫描电镜(SEM)、透射电镜(TEM)、原子力显微镜(AFM)、扫描探针显微镜(SPM)、光刻机、激光干涉仪、光谱仪、轮廓仪、电子天平等各类超高精度设备,消除环境低频振动对成像和测量的干扰。优尼康科技提供专业技术支持与现场安装服务。

  • 产品名称 主动式防震系统
  • 品牌 Table Stable
  • 产品型号 AVI-400系列
  • 产地 瑞士

HERZ AVI-400系列 主动式防震系统




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优尼康科技提供的HERZ AVI-400系列主动式减振台,采用“主动+被动”双模式隔振技术,主动隔振范围0.7Hz200Hz,被动隔振范围>200Hz,可隔离六个空间方向的振动干扰。系统内置压电加速度传感器与音圈马达,实时探测传入振动并生成反向补偿力,520毫秒内完成响应,10Hz以上传输率低于0.01(-40dB),无低频共振、无需气压支持。模块化设计支持自由扩展,负载能力最高可达800kg以上,桌面尺寸和隔振模块数量均可按需配置。LCD显示屏实时监控振动状态,即插即用,安装简便。适用于扫描电镜(SEM)、透射电镜(TEM)、原子力显微镜(AFM)、扫描探针显微镜(SPM)、光刻机、激光干涉仪、光谱仪、轮廓仪、电子天平等各类超高精度设备,消除环境低频振动对成像和测量的干扰。优尼康科技提供专业技术支持与现场安装服务。



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           AVI-400M/LP Plus 与ZEISS Sigma 500                                                                                    AVI-400M/4/LP Plus 与FEI TEM



Table Stable在减震行业内有着相当丰富的经验。于此同时Table Stable测量技术也取得了很大的进步,一些灵敏度很高的仪器可能是一个自然谐振频率的被动系统,只有主动隔振系统才能消除共振。Table Stable通过在发展主动隔振系统的同时补充了被动系统,主动隔振系统可为灵敏的仪器提供各种消除振动干扰的需求。


产品特点

优于被动系统无低频共振振动恢复时间迅速(<10MS)反馈控制(无需校准) 
无气压要求无需设置时间尺寸小模块可扩展
低功耗技术不会升温降低功耗无电磁干扰 
不影响精密仪器适用于各种仪器小型模块化单元适合于个性化要求


防震前

内图-3.jpg


防震后

内图-4.png



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标签: HERZ 减震台

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