HERZ AVI-400系列 主动式减震系统
优尼康科技提供的HERZ AVI-400系列主动式减振台,采用“主动+被动”双模式隔振技术,主动隔振范围0.7Hz200Hz,被动隔振范围>200Hz,可隔离六个空间方向的振动干扰。系统内置压电加速度传感器与音圈马达,实时探测传入振动并生成反向补偿力,520毫秒内完成响应,10Hz以上传输率低于0.01(-40dB),无低频共振、无需气压支持。模块化设计支持自由扩展,负载能力最高可达800kg以上,桌面尺寸和隔振模块数量均可按需配置。LCD显示屏实时监控振动状态,即插即用,安装简便。适用于扫描电镜(SEM)、透射电镜(TEM)、原子力显微镜(AFM)、扫描探针显微镜(SPM)、光刻机、激光干涉仪、光谱仪、轮廓仪、电子天平等各类超高精度设备,消除环境低频振动对成像和测量的干扰。优尼康科技提供专业技术支持与现场安装服务。
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产品名称
: 主动式防震系统 -
品牌
: Table Stable -
产品型号
: AVI-400系列 -
产地
: 瑞士




