优尼康微课堂:台阶仪相关知识科普
2023-06-08 14:24:55
admin
台阶仪相关知识科普
优尼康微课堂:什么是台阶仪?
台阶仪属于接触式表面形貌测量仪器,也叫探针式表面轮廓仪。台阶仪测量精度高、量程大、测量结果稳定可靠、重复性好,被广泛应用在各行各业。
测量原理:
当触针沿被测表面轻轻滑过时,由于表面有微小的峰谷使触针在滑行的同时,还沿峰谷作上下运动。触针的运动情况就反映了表面轮廓的情况。
台阶仪性能优劣取决于以下三个方面:
测试重复性、测试速度以及操作难易程度。这些因素决定了实验数据的质量和实验操作的效率。
在这以我们优尼康提供的一款KLA台阶仪为例,简单介绍下,
型号:P-17
支持从几纳米到一毫米的台阶高度测量,适用于生产和研发环境。
P-17是KLA台式探针轮廓仪。该系统支持对台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力进行2D和3D测量,其扫描可达200mm而无需图像拼接。
该系统结合了UltraLite传感器、恒力控制和超平扫描平台,具备出色的稳定性。 通过点击式平台控制、顶视和侧视光学系统以及带光学变焦的分辨率相机等功能,程序设置简便快速。
P-17具备用于量化表面形貌的各种滤镜、调平和分析算法,可以支持2D或3D测量。 并通过图案识别、排序和特征检测实现全自动测量。