Filmetrics F54 白光干涉膜厚测量仪
Filmetrics F54 白光干涉膜厚测量仪产品介绍:
Filmetrics F54 白光干涉膜厚测量仪能以一个电动R-Theta平台自动移动到选定的测量点以每秒测绘两个点的速度快速的测绘薄膜厚度, 样品直径达450毫米,可选择数十种内建之同心圆,矩形,或线性图案模式,或自行建立无数量限制之测量点.只需具备基本电脑技能,就可在数分钟内自行建立配方。
Filmetrics F54 白光干涉膜厚测量仪产品特点:
自动化薄膜厚度绘图系统,快速定位、实时获得结果;
可测样品膜层:基本上光滑的。非金属的薄膜都可以测量;
测绘结果可用2D或3D呈现,方便用户从不同的角度检视;
Filmetrics F54 白光干涉膜厚测量仪测量原理:
当入射光穿透不同物质的界面时将会有部分的光被反射,由于光的波动性导致从多个界面的反射光彼此干涉,从而使反射光的多波长光谱产生震荡的现象。从光谱的震荡频率,可以判断不同界面的距离进而得到材料的厚度(越多的震荡代表越大的厚度),同时也能得到其他的材料特性如折射率与粗糙度。
Filmetrics F54 白光干涉膜厚测量仪产品应用:
显示技术 | 消费电子 | 派瑞林 | |
光刻胶 | OLED | 防水涂层 | 电子产品/电路板 |
介电层 | ITO和TCOs | 射频识别 | 磁性材料 |
砷化镓 | 空气盒厚 | 太阳能电池 | 医学器械 |
微机电系统 | PVD和CVD | 铝制外壳阳极膜 | 硅橡胶 |
Filmetrics F54 白光干涉膜厚测量仪产品参数:
波长范围: | 190nm-1700nm | 光源: | 钨卤素灯、氘灯 |
光斑大小: | 标准1.5毫米 | 测量精度2: | 0.02nm |
准确度*:取较大者 | 1nm或0.2% | 稳定性3: | 0.05nm |
5X物镜厚度范围: | 20nm-120μm | ||
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