Filmetrics F54 高分辨率自动薄膜测量系统

优尼康科技提供的Filmetrics F54光学膜厚测量仪（膜厚仪），采用光谱反射（白光干涉）技术，非接触式测量薄膜厚度、折射率、反射率、吸收率和表面粗糙度。五种配置覆盖4nm至120μm膜厚测量范围，波长范围190–1700nm，最小光斑尺寸可达2μm，测量精度达0.02nm。配置电动R-Theta（极坐标）或XY自动载物台，按预设图案自动移动定位，最快每秒测量2个点位，支持直径达450mm的大尺寸样品。内建数十种极坐标、矩形、线性测绘模式，用户可自定义测量点，2D/3M膜厚分布图实时呈现。内置130+种材料库与高级建模算法，涵盖从纳米级超薄膜至百微米厚膜的全场景需求。适用于半导体晶圆制造（光刻胶、氧化物/氮化物、SOI）、化合物半导体、液晶显示器LCD（液晶间隙、ITO/TCO透明导电膜）、光学涂层（硬质涂层、增透膜）、MEMS微机电系统、生物医学涂层（导管/支架涂层）、OLED显示、太阳能电池及派瑞林涂层等行业。优尼康科技提供专业技术支持。

产品名称：高分辨率自动薄膜测量系统

品牌： Filmetrics

产品型号： F54

产地：美国

Filmetrics F54 高分辨率自动薄膜测量系统

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Filmetrics F54 高分辨率自动薄膜测量系统产品介绍：

Filmetrics F54 高分辨率自动薄膜测量系统能以一个电动R-Theta平台自动移动到选定的测量点以每秒测绘两个点的速度快速的测绘薄膜厚度, 样品直径达450毫米，可选择数十种内建之同心圆,矩形,或线性图案模式,或自行建立无数量限制之测量点.只需具备基本电脑技能，就可在数分钟内自行建立配方。

Filmetrics F54 高分辨率自动薄膜测量系统产品特点：

自动化薄膜厚度绘图系统，快速定位、实时获得结果；
可测样品膜层：基本上光滑的。非金属的薄膜都可以测量；
测绘结果可用2D或3D呈现，方便用户从不同的角度检视；

Filmetrics F54 高分辨率自动薄膜测量系统测量原理：

当入射光穿透不同物质的界面时将会有部分的光被反射，由于光的波动性导致从多个界面的反射光彼此干涉，从而使反射光的多波长光谱产生震荡的现象。从光谱的震荡频率，可以判断不同界面的距离进而得到材料的厚度（越多的震荡代表越大的厚度），同时也能得到其他的材料特性如折射率与粗糙度。

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Filmetrics F54 高分辨率自动薄膜测量系统产品应用：

半导体膜层	显示技术	消费电子	派瑞林
光刻胶	OLED	防水涂层	电子产品/电路板
介电层	ITO和TCOs	射频识别	磁性材料
砷化镓	空气盒厚	太阳能电池	医学器械
微机电系统	PVD和CVD	铝制外壳阳极膜	硅橡胶

Filmetrics F54 高分辨率自动薄膜测量系统产品参数：

波长范围：	190nm-1700nm	光源：	钨卤素灯、氘灯
光斑大小：	标准1.5毫米	测量精度2：	0.02nm
准确度*：取较大者	1nm或0.2%	稳定性3：	0.05nm
5X物镜厚度范围：	20nm-120μm
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