【参展信息】优尼康邀您相约上海新国际博览中心
2024-03-14 16:51:32
admin
2024 SEMICON CHINA 与慕尼黑上海光博会将同期在上海新国际博览中心举办,优尼康将携带多台设备参加此次盛会。您可以扫描文章下方二维码,提前进行在线预约报名。期待和您现场相遇,我们现场准备了诸多精美小礼品等你来领取。
F50可以非常简单地获得最大直径450毫米的样品薄膜厚度分布图。采用r-θ 极坐标移动平台,可以快速定位所需的测试点并且实时获得测试厚度,大约2点/秒。
相关应用:半导体制造(光刻胶、氧化物/氮化物/SOI、晶圆背面研磨);LCD 液晶显示器(聚酰亚胺、ITO 透明导电膜);光学镀膜(硬涂层、抗反射层);MEMS 微机电系统(光刻胶、硅系膜层)。
在高度不超过9英寸的工件上具有优于同类产品的 12 x12英寸可测量区域。自动多准直器允许选择光斑尺寸,以适应各种特征尺寸;可变焦摄像头允许在 0.25 英寸到3.5 英寸的焦距范围内进行测量。
相关应用:材料折射率消光系数测试;硅片自然氧化层厚度测试;光刻胶光学常数测试;半导体后段封装硅上金属厚度测量
薄膜缺陷检测仪实现亚纳米薄膜涂层、纳米颗粒、划痕、凹坑、凸起、应力点和其他缺陷的全表面扫描和成像。
相关应用:所有缺陷类型;薄厚基板;透明和不透明基板;电介质涂层;金属涂层;键合硅片;开发和在线生产