CHInano作为全国规模最大的纳米技术领域展会集聚了一批精密检测领域参展企业，现场商业合作氛围高涨。本届精密检测专区将继续汇聚国内外顶尖精密检测平台、专业装备行业巨头参展，诚挚邀请您莅临，共同见证未来科技的诞生与发展！
优尼康携两款重磅产品参加苏州纳博会，其中KLA旗下的Filmetrics F50自动Mapping膜厚测量仪自动并快速获得薄膜的厚度分布图，而Film Sense多波长椭偏仪对测量纳米级薄膜有着超强实力。
B1馆 533号优尼康展台，现场设置丰富的惊喜抽奖活动，期待与各位在CHInano 2025现场见！
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展会时间：2025年10月22-24日
展会地点：苏州国际博览中心
优尼康展位： B1馆 533号
(下方有图示位置指引)
展馆分布
展台指引
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Filmetrics F50 自动Mapping膜厚测量仪 | ||
F50可以非常简单地获得最大直径450毫米的样品薄膜厚度分布图。采用r-θ 极坐标移动平台，可以快速定位所需的测试点并且实时获得测试厚度，大约每秒测试两点。 | ||
相关应用：半导体制造（光刻胶、氧化物/氮化物/SOI、晶圆背面研磨）；LCD 液晶显示器（聚酰亚胺、ITO 透明导电膜）；光学镀膜（硬涂层、抗反射层）；MEMS 微机电系统（光刻胶、硅系膜层）。 |
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FS-8 多波长椭偏仪 | ||
Film Sense FS-8 多波长椭偏仪采用寿命长 LED 光源和非移动式部件椭偏探测器，可在操作简单的紧凑型椭偏仪中实现可靠地薄膜测量。 | ||
相关应用：二氧化硅和氮化物，高介电和低介电材料，非晶和多晶材料，硅薄膜，光刻胶。高和低指数薄膜，如 SiO2, TiO2, Ta2O5, MgF2。TCO（如 ITO），非晶硅薄膜，有机薄膜（OLED 技术）等。 |
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