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热烈庆祝上海交大电子材料与器件校级平台正式运行,优尼康科技有限公司为该平台提供了光学膜厚测量系统解决方案,用于测量各种介电材料如SiO2,SiNx等,以及光刻胶Photoresist的厚度。
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